[发明专利]等离子显示屏用MgO保护层的制备方法以及包含其的彩色等离子体显示屏及彩色等离子体电视

权利要求书

1.一种在制备有ITO透明电极、BUS电极和介质层的彩色等离子体显示屏的玻璃基板上形成MgO薄膜保护层的方法，其特征在于：在富氧气氛中，利用电子束扫描盛有MgO颗粒的容器，同时采用离子束发生装置向所述玻璃基板发射离子束，所述离子束轰击在所述玻璃基板的表面上形成的MgO薄膜，最终在所述介质层上蒸镀厚度为600～800nm的MgO薄膜保护层。

2.根据权利要求1所述的制备MgO薄膜保护层的方法，其中所述盛有MgO颗粒的容器为坩埚。

3.根据权利要求1所述的制备MgO薄膜保护层的方法，其中所述富氧气氛由在1.0×10^-5Pa高真空下在蒸发室内通入纯度为99.99～99.9999％的纯氧气而形成，其中所述蒸发室内通氧气时的真空度为(0.5～5.0)×10^-2Pa。

4.根据权利要求3所述的制备MgO薄膜保护层的方法，其中所述富氧气氛由在1.0×10^-5Pa高真空下在蒸发室内通入纯度为99.999％的纯氧气而形成，其中所述蒸发室内通氧气时的真空度为(1.0-2.0)×10^-2Pa。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的制备MgO薄膜保护层的方法，其中所述MgO颗粒选自单晶MgO材料、多晶MgO材料和掺杂MgO材料。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的制备MgO薄膜保护层的方法，其中所述MgO薄膜保护层中的MgO为选自(220)、(111)晶型或上述晶型的组合的柱状MgO。

7.根据权利要求6所述的制备MgO薄膜保护层的方法，其中所述MgO薄膜保护层中的MgO(220)晶型的柱状MgO。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的制备MgO薄膜保护层的方法，其中所述MgO薄膜保护层中的MgO为平均粒径为50～150nm的柱状晶型。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的制备MgO薄膜保护层的方法，其中所述电子束的能量范围为：电子束电流400～450mA、电子束电压为-10kV～-20kV，所述离子束的能量范围为：离子束能量为0.1～0.5KeV，连续可调，且束流强度为10～120mA。

10.根据权利要求1～4中任一项所述的制备MgO薄膜保护层的方法，其中所述电子束的能量范围为：电子束电流400～450mA、电子束电压为-13kV～-15kV。

11.一种彩色等离子体显示屏，其特征在于：包括ITO透明电极、BUS电极、介质层以及根据权利要求1～10中任一项所述的方法获得的MgO薄膜保护层。

12.一种彩色等离子体电视，其特征在于：包括权利要求11所述的显示屏。