[发明专利]一种沉积掺杂多晶硅机台

权利要求书

1.一种沉积掺杂多晶硅机台，所述机台包括炉管和设置在所述炉管一侧的多个气嘴，所述多个气嘴各具有出口，其特征在于，所述出口的排列使气嘴所释放出的掺杂气体在所述炉管内纵向均匀分布。

2.根据权利要求1所述的机台，其特征在于，所述炉管内从上至下具有第一至第七控片放置位，所述气嘴的数量为三个，所述气嘴分别为第一气嘴、第二气嘴和第三气嘴，其中，

所述第一气嘴上设置有一个出口，所述第一气嘴的出口对应所述炉管的底部；所述第二气嘴上设置有四个出口，所述第二气嘴的出口从上至下分别对应所述炉管内的第四至第七控片放置位；所述第三气嘴上设置有四个出口，所述第三气嘴的出口从上至下分别对应所述炉管内的第一至第四控片放置位。

3.根据权利要求1或2所述的机台，其特征在于，所述出口的孔径大小为使气嘴所释放出的掺杂气体在所述炉管内纵向均匀分布的尺寸。