[发明专利]割断用划线的形成方法和装置

权利要求书

1.一种割断用划线的形成方法，对嵌入了器件电路的透明的衬底照射从 激光振荡器生成的规定波长的激光束，同时将所述衬底和所述束相对地移动， 从而在所述衬底上形成衬底割断用的划线的方法，其特征在于，包括：

第1步骤，通过将所述衬底与对所述激光振荡器进行Q开关驱动而得到 的脉冲状激光束相对地移动，从而仅对从在所述衬底上设定的割断预定线上 的衬底边缘开始的规定微小区间内照射所述脉冲状激光束；以及

第2步骤，通过将所述衬底与对所述激光振荡器连续地驱动而得到的CW 激光束相对地移动，从而对从在所述衬底上设定的割断预定线上的一个衬底 边缘到另一个衬底边缘的全部区间照射所述CW激光束，

所述规定微小区间与衬底的直径的比例小于在所述衬底上设定的纵横的 割断预定线的加工间距与衬底的直径的比例。

2.如权利要求1所述的割断用划线的形成方法，其特征在于，

所述第1步骤的处理包括：沿着在所述衬底上设定的纵横的割断预定线， 使激光束的光轴进行纵穿扫描或者横穿扫描，同时仅对从衬底外区域进入衬 底内区域之后的规定微小区间内对衬底照射脉冲状激光束的处理，并且

所述第2步骤的处理包括：沿着在所述衬底上设定的纵横的割断预定线， 使激光束的光轴进行纵穿扫描或者横穿扫描，同时对从衬底外区域进入衬底 内区域之后从衬底内区域退出衬底外区域的全部区间内对衬底照射CW激光 束的处理。

3.如权利要求2所述的割断用划线的形成方法，其特征在于，

所述透明衬底是在通过纵横的割断预定线划分而成的各个矩形区域内嵌 入了器件电路的蓝宝石衬底，并且，所述激光振荡器是YVO激光振荡器。

4.一种割断用划线的形成装置，其特征在于，包括：

XY台面，用于载放并固定嵌入了器件电路的透明衬底；

激光束产生部件，通过对激光振荡器进行脉冲驱动或者连续驱动，从而 能够择一地射出脉冲状激光束和CW激光束中的任一个；

束导入光学系统，用于将从所述激光束产生部件产生的激光束以规定的 光轴对载放并固定在所述XY台面上的衬底进行照射；

路径设定部件，通过将所述XY台面与所述光轴相对地移动，从而设定 在所述XY台面上使光轴沿着所述衬底上的割断预定线移动时的光轴的移动 路径；

微小距离设定部件，沿着在所述衬底上设定的割断预定线，从相当于衬 底边缘的一端到相当于衬底边缘的另一端设定应测量的规定的微小距离；

束移动控制部件，控制所述XY台面的移动，使得所述光轴沿着在所述 路径设定部件中设定的光轴的移动路径移动；

第1束照射控制部件，在通过所述束移动控制部件使所述光轴沿着所述 设定路径移动的第1次扫描中，通过在适当的定时从所述激光束产生部件射 出脉冲状激光束，从而仅对从在所述衬底上设定的割断预定线上的相当于衬 底边缘的一端开始的由所述微小距离设定部件所设定的微小距离区间内，对 所述衬底照射脉冲状激光束；以及

第2束照射控制部件，在通过所述束移动控制部件使所述光轴沿着所述 设定路径移动的第2次扫描中，通过在适当的定时从所述激光束产生部件射 出CW激光束，从而仅对从在所述衬底上设定的割断预定线上的相当于衬底 边缘的一端到相当于衬底边缘的另一端的全部区间内，对所述衬底照射CW 激光束，

所述微小距离与衬底的直径的比例小于在所述衬底上设定的纵横的割断 预定线的加工间距与衬底的直径的比例。

5.如权利要求4所述的割断用划线的形成装置，其特征在于，

所述第1束照射控制部件，在所述光轴从衬底外区域移动到衬底内区域 之前，开始照射所述脉冲状激光束，并等待所述光轴通过所述微小距离，停 止照射所述脉冲状激光束，

所述第2束照射控制部件，在所述光轴从衬底外区域移动到衬底内区域 之前，开始照射所述CW激光束，并在所述光轴从衬底内区域移动到衬底外 区域之后，停止照射所述CW激光束。

6.如权利要求5所述的割断用划线的形成装置，其特征在于，

所述透明衬底是在通过纵横的割断预定线划分而成的各个矩形区域内嵌 入了器件电路的蓝宝石衬底，并且，所述激光振荡器是YVO激光振荡器。