[发明专利]检查治具、电极构造及电极构造的制造方法

权利要求书

1.一种检查治具，其特征在于，包括：

多个探针，其一端导通接触于待检查基板的检查对象的检查点，另 一端导通接触在电连接于用以检查电特性的检查装置的电极部；

保持体，其将上述探针的两端分别引导至既定的上述检查点及上述 电极部，并保持该探针；及

电极体，其包含多个上述电极部，

上述探针具有：

第1接触件，其以导电材料形成筒形形状；及

第2接触件，其以导电材料形成细长状，并以与上述第1接触件绝 缘的状态收纳于上述第1接触件的内部空间，

上述电极部具有：

第1电极部，其用以与上述第1接触件导通接触；及

第2电极部，其与上述第1电极部不电性接触，而与上述第2接触 件导通接触，

上述第1电极部与该第2电极部从俯视观察，配置为上述第1电极 部的中心与上述第2电极部的中心分离，且俯视观察的上述第1电极部 的最大宽度小于上述第1接触件的外径。

2.根据权利要求1所述的检查治具，其特征在于，上述第1电极部 从俯视观察，形成与上述第2电极部相同的尺寸且相同的形状，或形成 小于上述第2电极部的尺寸且为相似的形状。

3.如权利要求1或2所述的检查治具，其特征在于，

上述第2电极部相对于探针的径向配置在中央处，

上述第1电极部配置成：使该第1电极部与上述第2电极部的连线 对于多个探针的排列方向倾斜既定角度。

4.如权利要求3所述的检查治具，其特征在于，上述既定角度为45 度。

5.如权利要求1、2、4中任一项所述的检查治具，其特征在于，上 述第1电极部及上述第2电极部从上述电极体的表面突出而形成。

6.如权利要求1、2、4中任一项所述的检查治具，其特征在于，

上述第1电极部及上述第2电极部各包含：

线状的电极本体，其插入到设于上述电极体的贯通孔，且该电极本 体的上述待检查基板侧的端面与上述电极体的表面位于同一平面；及

突出部，其通过电镀形成在上述电极本体的上述端面，从上述电极 体的上述表面向上述待检查基板侧突起。

7.如权利要求2所述的检查治具，其特征在于，

上述第2电极部的外径小于上述第1接触件的内径，

上述第2电极部配置为相比上述第1接触件的内周位于更内侧，

上述第1电极部配置为相比上述第2接触件的外周位于更外侧，且 可与上述第1接触件的端部抵接的位置。

8.如权利要求7所述的检查治具，其特征在于，上述第2电极部配 置成使其中心与上述第2接触件的中心轴一致。

9.如权利要求7所述的检查治具，其特征在于，上述第2电极部配 置成使其中心偏离上述第2接触件的中心轴。

10.如权利要求7至9中任一项所述的检查治具，其特征在于，上述 第1电极部的外径小于上述第2电极部的外径。