[发明专利]检查治具、电极构造及电极构造的制造方法

说明书

技术领域

本发明是关于用以检查待检查基板的检查对象的电特性的检查治具、电极结构及电极结构的制造方法。 

背景技术

就有关设在待检查基板的布线图案等的检查对象电特性的检查方法而言，有设置电流供给用接触件与电压测量用接触件的2个接触件，并使该2个接触件同时接触于检查点以进行检查对象的检查的方法(所谓4接点法)(例如专利文献1)。该4接点法中，通过分开电流供给用接触件与电压测量用接触件，能将流动于电压测量用接触件与检查点之间的电流抑制到可实质上忽略的程度，因此实质上排除电压测量用接触件与检查点的接触电阻的影响，能够正确地测量出电压测量用接触件所接触的2处检查点间的电压。 

此种4接点法所使用的以往的探针及检查治具，被设置为以绝缘状态下并列配置的针状的2个针状接触件为一组而对应至各检查点，并使该2个接触件同时接触于各检查点。 

又，近年来，由于设在基板的布线图案等的细密化急剧进展，因此对于检查治具也要求对应检查对象的细密化。 

为对应此种细密化，有人提出专利文献2所公开的基板检查治具。该专利文献2所公开的技术中，于导电性的筒状接触件及该筒状接触件的内部在内部收纳棒状接触件，由此可对应于狭小间距。 

【专利文献1】日本特开2004-184374号公报 

【专利文献2】日本特开2007-205808号公报 

利用如专利文献2所公开的接触件时，进行以下的方法：将与检查装置导通连接的电极部形成与接触件的剖面同样形状，或者使用收纳筒 状接触件的凹部形状的连接器等。 

然而，此种电极部的构造中，成为直径比筒状接触件的外径大的电极部(构件)，存在电极部的间距无法对应于狭小间距，或者电极部的构造变复杂的问题。 

发明内容

因此，本发明欲解决的课题为：提供检查治具、电极结构及电极结构的制造方法，在如上述利用具有如筒状接触件及棒状接触件的构造的接触件(同轴接触件)时，被很好地利用于此种接触件，并达到电极部的结构的细微化及简易化。 

为解决上述课题，技术方案1的发明中提供一种检查治具，多个探针，其一端导通接触于待检查基板的检查对象的检查点，另一端导通接触在电连接于用以检查电特性的检查装置的电极部；保持体，其将上述探针的两端分别引导至既定的上述检查点及上述电极部，并保持该探针；及电极体，其包含多个上述电极部，上述探针具有：第1接触件，其以导电材料形成大致筒形形状；及第2接触件，其以导电材料形成细长状，并以与上述第1接触件绝缘的状态收纳于上述第1接触件的内部空间，上述电极部具有：第1电极部，其用以与上述第1接触件导通接触；及第2电极部，其与上述第1电极部不电性接触，而与上述第2接触件导通接触，上述第1电极部与该第2电极部从俯视观察，配置为上述第1电极部的中心与上述第2电极部的中心分离，且俯视观察的上述第1电极部的最大宽度小于上述第1接触件的外径。 

又，技术方案2的发明，是在技术方案1的发明的检查治具中，上述第1电极部从俯视观察，形成与上述第2电极部大致相同的尺寸且大致相同的形状，或形成小于上述第2电极部的尺寸且为相似的形状。 

又，技术方案3的发明，是在技术方案1或2的发明的检查治具中，上述第2电极部相对于探针的径向配置在大致中央处，上述第1电极部配置成：使该第1电极部与上述第2电极部的连线对于多个探针的排列方向倾斜既定角度。 

又，技术方案4的发明，是在技术方案3的发明的检查治具中，上 述既定角度约为45度。 

又，技术方案5的发明，是在技术方案1至4中任意一项的发明的检查治具中，上述第1电极部及上述第2电极部从该电极体的表面突出而形成。 

又，技术方案6的发明，是在技术方案1至5中任意一项的发明的检查治具中，上述第1电极部及上述第2电极部各包含：线状的电极本体，其插入到设于上述电极体的贯通孔，且该电极本体的上述待检查基板侧的端面与上述电极体的表面位于同一平面；及突出部，其通过电镀形成在上述电极本体的电极保持构件的上述端面，从上述电极体的上述表面向上述待检查基板侧突起。 

又，技术方案7的发明，是在技术方案2的发明的检查治具中，上述第2电极部的外径小于上述第1接触件的内径，上述第2电极部配置为相比上述第1接触件的内周位于更内侧，上述第1电极部配置为相比上述第2接触件的外周位于更外侧，且可与上述第1接触件的端部抵接的位置。