[发明专利]涂胶显影机热处理单元

权利要求书

1.一种涂胶显影机热处理单元，其特征在于，包括两块以上分热板以及与分热板连接的电路系统，每块分热板上设有至少一个温度传感器。

2.如权利要求1所述的涂胶显影机热处理单元，其特征在于，所述两块以上分热板组合成一块圆形热板。

3.如权利要求2所述的涂胶显影机热处理单元，其特征在于，所述热板为加热板、冷却板或粘附板。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的涂胶显影机热处理单元，其特征在于，所述分热板设有两个以上均匀分布的温度传感器。

5.如权利要求4所述的涂胶显影机热处理单元，其特征在于，所述分热板数量为6块。

6.如权利要求5所述的涂胶显影机热处理单元，其特征在于，所述6块分热板包括处于中心的圆形分热板及5块同样大小的围绕所述圆形分热板的扇形分热板。

7.如权利要求4所述的涂胶显影机热处理单元，其特征在于，每块分热板上有3个温度传感器。

8.如权利要求4所述的涂胶显影机热处理单元，其特征在于，所述温度传感器为铂电阻温度传感器。

9.如权利要求1所述的涂胶显影机热处理单元，其特征在于，所述电路系统包括温度显示面板、多点温度控制器、加热控制单元及中央处理器；所述温度显示面板与温度传感器连接，显示所述温度传感器的测量温度；所述多点温度控制器与温度传感器和中央处理器连接，将温度传感器测量的温度信号传给中央处理器，中央处理器根据接收的温度信号管理加热控制单元实现对分热板的温度进行实时控制。

10.如权利要求9所述的涂胶显影机热处理单元，其特征在于，所述中央处理器根据接收的温度信号管理加热控制单元实现对分热板的温度进行实时控制是将各个温度传感器的温度信号与电路系统预先设定的温度值进行对比，分析得到产生温度不均匀的分热板编号传给多点温度控制器，多点温度控制器对产生温度不均匀的分热板独立进行功率控制以调整温度或者发出警报，关闭电路系统。