[发明专利]基片运载装置

权利要求书

1.一种基片运载装置，适用于安装在真空腔体内对基片进行传送，所述基 片运载装置包括底座、传动组件和驱动电机，其特征在于：还包括基片座，所 述基片座上开设有承载基片的凹槽，所述底座的两侧平行地设有轨道，所述基 片座枢接有第一滚轮，所述第一滚轮与所述轨道接触，所述传动组件包括齿条 及若干齿轮，所述齿轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴，所述齿轮传动轴枢接 地穿过所述底座，且至少一个所述齿轮的齿轮传动轴连接有所述驱动电机，所 述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮啮合，所述驱动电机驱动所述齿轮， 所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。

2.如权利要求1所述的基片运载装置，其特征在于：所述第一滚轮枢接于 所述基片座的下端，所述齿条固定于所述基片座的一侧的侧壁上，所述基片座 的另一侧的侧壁上枢接有第二滚轮，位于所述第二滚轮同一侧的轨道向外延伸 一挡壁，所述挡壁与所述第二滚轮接触。

3.如权利要求2所述的基片运载装置，其特征在于：所述齿条与所述第二 滚轮位于同一平面上。

4.如权利要求1所述的基片运载装置，其特征在于：所述齿轮沿着所述齿 条等间隔分布。

5.如权利要求1所述的基片运载装置，其特征在于：所述基片座的凹槽的 底部开设第一开口。

6.如权利要求5所述的基片运载装置，其特征在于：所述底座具有与所述 第一开口对应的第二开口。

7.如权利要求1-6中任一项所述的基片运载装置，其特征在于：所述底座 上沿所述轨道的方向安装有传感器。

8.如权利要求1-6中任一项所述的基片运载装置，其特征在于：所述驱动 电机为伺服电机。