[发明专利]基片运载装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种板状薄基片的传送装置，尤其涉及一种适用于安装在真空 腔体内对基片进行传送的基片运载装置。

背景技术

随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生 产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新 型的工业化道路要求。

例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都 加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产 品中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminescence Display， OELD)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了 广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦 在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技 术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏 的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏幕与传统的 TFT-LCD显示屏幕并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和 玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏 幕可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制 造OLED显示屏幕的所有设备必须要保证OLED显示屏幕的精度要求。 OLED的基片材料为非常薄且易碎的玻璃，在OLED的基片制作工序及后续 工艺中，有很多基片传输装置，用于在基片加工的过程中传输基片，为了保证 OLED的质量和精度，加工过程中对基片的自动化传输要求越来越高的同时， 对基片的清洁度也要求越来越高，因此对基片的传输设备提出了更高的要求。

现有的基片传送主要包括轮式传动和气浮式传动两种方式。如图1为现有 轮式基片运载装置的示意图，该基片运载装置在驱动轴2和每一个传送轴3上 安装有与基片4直接接触的滚轮5，传送轴3与驱动轴2之间用传送带6相连， 驱动轴2与马达7等驱动设备相连，传送轴3可以从驱动轴2获取旋转力，即 当马达7等驱动设备开动时，驱动轴2和传送轴3均可转动进而对基片4进行 传送。上述传送方式中，由于基片4是直接放置于滚轮5上进行传送，传输的 过程中基片4容易受到机械磨损甚至出现脱落情况，影响成品的质量；同时， 由于多个传送轴3与驱动轴2之间采用链条或传送带6连接，不易达到多个传 动轴3的同步转动从而导致基片4产生外部应力、定位精确度不高；此外，由 于在滚轮5上的橡胶圈5a的大量使用，使得该类基片运载装置不适用于高真空 的环境中。

因此，急需一种能安全传送基片、传送定位精确、且尤其适用于真空环境 的基片运载装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基片运载装置，该基片运载装置尤其适用于真 空环境的基片传送，传送过程安全、定位精确。

为了实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种基片运载装置，适用 于安装在真空腔体内对基片进行传送，所述基片运载装置包括底座、传动组件、 驱动电机及基片座，所述基片座上开设有承载基片的凹槽，所述底座的两侧平 行地设有轨道，所述基片座枢接有第一滚轮，所述第一滚轮与所述轨道接触， 所述传动组件包括齿条及若干齿轮，所述齿轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴， 所述齿轮传动轴枢接地穿过所述底座，且至少一个所述齿轮的齿轮传动轴连接 有所述驱动电机，所述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮啮合，所述驱 动电机驱动所述齿轮，所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。

较佳地，所述第一滚轮枢接于所述基片座的下端，所述齿条固定于所述基 片座的一侧的侧壁上，所述基片座的另一侧的侧壁上枢接有第二滚轮，位于所 述第二滚轮同一侧的轨道向外延伸一挡壁，所述挡壁与所述第二滚轮接触。所 述第二滚轮的设置可有效抵消所述齿条与所述齿轮相啮合而产生的横向力同时 减小摩擦，使得基片在传输的过程中更为平稳。

较佳地，所述齿条与所述第二滚轮位于同一平面上。该结构的设计，可使 所述第二滚轮更有效地抵消所述齿条与所述齿轮相啮合而产生的横向力，从而 使得基片可更平稳地被传送。

较佳地，所述齿轮沿着所述齿条等间隔分布。该结构的设计，使得所述传 动组件在传动所述基片座时定位更为精确。