[发明专利]新型多级传输机器人

权利要求书

1.一种多级传输机器人，适用于基片的传输，包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，所述第一级传输机械手臂及所述第二级传输机械手臂均呈片状结构，所述第一级传输机械手臂与所述第二级传输机械手臂均具有第一连接部与第二连接部，所述驱动装置与所述第一级传输机械手臂的第一连接部铰接，所述第一级传输机械手臂的第二连接部与所述第二级传输机械手臂的第一连接部铰接，其特征在于：还包括第三级传输机械手臂，所述第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，所述基片支撑段与所述基片承载段固定连接，所述基片承载段上安装有支撑减振机构，所述支撑减振机构包括至少两个支撑块，所述支撑块上表面呈弯折结构，所述弯折结构形成台阶，所述支撑块分别固定于所述基片承载段上，且所述支撑块的台阶之间形成承载基片的承载区，所述台阶上开设有凹槽，所述凹槽内容置有弹性橡胶带，所述弹性橡胶带凸出所述凹槽。

2.如权利要求1所述的多级传输机器人，其特正在于：所述支撑减振机构还包括中支撑件，所述中支撑件固定连接于所述基片承载段上并位于所述承载区中心处，所述中支撑件的顶面呈球面状且所述中支撑件的顶面的最高点与所述台阶位于同一平面。

3.如权利要求1所述的多级传输机器人，其特正在于：所述基片支撑段与所述基片承载段分别具有连接部，所述基片支撑段与所述基片承载段通过所述基片支撑段的连接部与所述基片承载段的连接部固定连接。

4.如权利要求3所述的多级传输机器人，其特正在于：所述基片支撑段的连接部与所述基片承载段的连接部通过螺钉固定连接。

5.如权利要求1所述的多级传输机器人，其特正在于：所述凹槽为燕尾槽，所述弹性密封圈的截面呈圆形。

6.如权利要求1所述的多级传输机器人，其特正在于：所述支撑段由若个呈片状结构的支撑板首尾叠加相连构成。

7.如权利要求1所述的多级传输机器人，其特正在于：所述第三级传输机械手臂的长度大于所述第一级传输机械手臂与所述第二级传输机械手臂的长度之和。