[发明专利]新型多级传输机器人

说明书

技术领域

本发明涉及一种传输机器人，更具体地涉及一种传输基片的多级传输机器人。

背景技术

有机发光显示器件(OLED)最普遍的结构是类三文治(Organic Thin Films Laminated Between Two Electrodes)结构，在基板上利用各种镀膜制程制作有包括阴极(Cathode)、阳极(Anode)、电子传输层(ETL)、电子注入层(EIL)、空穴传输层(HTL)、空穴注入层(HIL)、RGB三色有机发光层(EML)等八种膜层结构。这八种膜层的生成通常需要八个不同的成膜腔体，同时某些镀膜制程需要有掩膜(MASK)以便形成图案化膜层，这样就需要至少一个掩膜与基片贴合、分离的腔体和至少一个掩膜存储腔体，因此一个完整的有机发光显示器件(OLED)成膜过程需要至少十个腔体，也就是说基片会在至少十个腔体间传输。为了满足不同工艺要求和设备集成化需要，降低生产周期，一般的采用集束式腔体镀膜，如图1所示。基片通过滚轮等直线传输机构进入集束式腔体11′，然后通过置于集束式腔体11′中心的传输机器人100′将基片在不同的制程腔体12′内传输。

传输机器人100′最外一级为基片承载级，为了减轻机器人手臂的重量以及机器人的负载一般都采用薄板状手臂。

随着有机发光显示器已被视为继当前占统治地位的液晶显示器(LCD)或等离子显示器(P DP)之后的新一代平板显示器(FPD)，其相应的尺寸也逐渐扩大，目前已有470mm×370mm尺寸器件。这就意味着需要更大的腔体和集束系统进行镀膜制程，即用于集束式腔体内基片传输的机器人的运动半径将扩大，其承载级手臂将承受更大重量的基片同时其尺寸将会更长。随着传输基片尺寸的扩大，承载基片的机器人手臂为了满足应力要求和传输半径扩大的要求，必须做的更厚，才能保证在其长度变长、承载重量增大后不会出现弯曲变形，甚至折断。然而这样一方面会浪费材料，另一方面严重加大了机器人的负载，降低其使用周期。

为了克服上述缺点，急需一种多级传输机器人结构，最大限度的降低机器人负载，制造简单，维修方便，能够满足尺寸日益增大的基片的承载需要。

发明内容

本发明的目的是提供一种多级传输机器人，所述多级传输机器人能将基片传入集束式腔体上的各个支撑腔体内，或从各个制成腔体内取出基片，制造简单，维修方便，能够满足尺寸日益增大的基片的承载需要。

为了实现上述目的，本发明提供了一种多级传输机器人，适用于基片的传输，包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，所述第一级传输机械手臂及所述第二级传输机械手臂均呈片状结构，所述第一级传输机械手臂与所述第二级传输机械手臂均具有第一连接部与第二连接部，所述驱动装置与所述第一级传输机械手臂的第一连接部铰接，所述第一级传输机械手臂的第二连接部与所述第二级传输机械手臂的第一连接部铰接，其中，还包括第三级传输机械手臂，所述第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，所述基片支撑段与所述基片承载段固定连接，所述基片承载段上安装有支撑减振机构，所述支撑减振机构包括至少两个支撑块，所述支撑块上表面呈弯折结构，所述弯折结构形成台阶，所述支撑块分别固定于所述基片承载段上，且所述支撑块的台阶之间形成承载基片的承载区，所述台阶上开设有凹槽，所述凹槽内容置有弹性橡胶带，所述弹性橡胶带凸出所述凹槽。

较佳地，所述支撑减振机构还包括中支撑件，所述中支撑件固定连接于所述基片承载段上并位于所述承载区中心处，所述中支撑件的顶面呈球面状且所述中支撑件的顶面的最高点与所述台阶位于同一平面。设置所述中支撑件是为了更好地承载基片，由于基片的边缘是置于所述支撑块进行承载，但是随着工艺的发展，基片的尺寸日益增大，如果大尺寸的基片只有边缘的承载，而中间部位如果悬空就会容易使得基片变形，甚至可能损坏基片，又由于所述中支撑件的顶面的最高点与所述台阶同位于一平面，因此保证了承载于所述支撑块上的基片的边缘和中间部位受力均匀，因此可有效地防止基片的变形。

较佳地，所述基片支撑段与所述基片承载段分别具有连接部，所述基片支撑段与所述基片承载段通过所述基片支撑段的连接部与所述基片承载段的连接部固定连接。所述基片支撑段的连接部与所述基片承载段的连接部通过螺钉固定连接。

较佳地，所述凹槽为燕尾槽，所述弹性密封圈的截面呈圆形。由于燕尾槽的特点在于上部狭窄下部宽大，狭窄的上部易于对上述弹性密封圈进行定位，而宽大的下部便于减小弹性密封圈的压强，有利于延长弹性密封圈的使用寿命。