[发明专利]共享存储单元的分栅式闪存无效

专利信息
申请号: 200910197127.6 申请日: 2009-10-13
公开(公告)号: CN101692453A 公开(公告)日: 2010-04-07
发明(设计)人: 曹子贵 申请(专利权)人: 上海宏力半导体制造有限公司
主分类号: H01L27/115 分类号: H01L27/115;H01L29/423;G11C16/02
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 郑玮
地址: 201203 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 共享 存储 单元 分栅式 闪存
【权利要求书】:

1.一种共享存储单元的分栅式闪存,其特征在于,包括:

半导体衬底,其上具有间隔设置的源极区域和漏极区域;

沟道区,位于所述源极区域和漏极区域之间;

存储单元,位于所述沟道区上方;

字线,位于所述存储单元上方;

第一选择栅和第二选择栅,分别位于所述字线和存储单元两侧,

其中,所述存储单元包括第一存储部分和第二存储部分,所述第一存储部分邻近第一选择栅,所述第二存储部分邻近第二选择栅,所述存储单元为氮化硅存储单元。

2.根据权利要求1所述的共享存储单元的分栅式闪存,其特征在于,分别对所述字线、所述第一选择栅、所述第二选择栅、所述源极区域和所述漏极区域施加第一存储部分读取电压,实现第一存储部分读取。

3.根据权利要求2所述的共享存储单元的分栅式闪存,其特征在于,对所述字线、所述第一选择栅、所述第二选择栅、所述源极区域和所述漏极区域施加的第一存储部分读取电压分别为2.5V、2V、4V、0V和1V,实现第一存储部分读取。

4.根据权利要求1所述的共享存储单元的分栅式闪存,其特征在于,分别对所述字线、所述第一选择栅、所述第二选择栅、所述源极区域和所述漏极区域施加第二存储部分读取电压,实现第二存储部分读取。

5.根据权利要求4所述的共享存储单元的分栅式闪存,其特征在于,对所述字线、所述第一选择栅、所述第二选择栅、所述源极区域和所述漏极区域施加的第二存储部分读取电压分别为2.5V、4V、2V、1V和0V,实现第二存储部分读取。

6.根据权利要求1所述的共享存储单元的分栅式闪存,其特征在于,分别对所述字线、所述第一选择栅、所述第二选择栅、所述源极区域和所述漏极区域施加第一存储部分编程电压,实现第一存储部分编程。

7.根据权利要求6所述的共享存储单元的分栅式闪存,其特征在于,对所述字线、所述第一选择栅、所述第二选择栅、所述源极区域和所述漏极区域施加的第一存储部分编程电压分别为8V、1.4V、5V、0V和4V,实现第一存储部分编程。

8.根据权利要求1所述的共享存储单元的分栅式闪存,其特征在于,分别对所述字线、所述第一选择栅、所述第二选择栅、所述源极区域和所述漏极区域施加第二存储部分编程电压,实现第二存储部分编程。

9.根据权利要求8所述的共享存储单元的分栅式闪存,其特征在于,对所述字线、所述第一选择栅、所述第二选择栅、所述源极区域和所述漏极区域施加的第二存储部分编程电压分别为8V、5V、1.4V、4V和0V,实现第二存储部分编程。

10.根据权利要求1所述的共享存储单元的分栅式闪存,其特征在于,分别对所述字线、所述第一选择栅、所述第二选择栅、所述源极区域和所述漏极区域施加存存储单元擦除电压,实现第一存储部分和第二存储部分擦除。

11.根据权利要求10所述的共享存储单元的分栅式闪存,其特征在于,对所述字线、所述第一选择栅、所述第二选择栅、所述源极区域和所述漏极区域施加的存存储单元擦除电压分别为-5V、F、F、F和F,实现第一存储部分和第二存储部分擦除。

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