[发明专利]均压腔气浮止推轴承有效
| 申请号： | 200910200941.9 | 申请日： | 2009-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN102109011A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王茜;袁志扬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 均压腔气浮止推 轴承 | ||
1.一种均压腔气浮止推轴承，其特征在于，包括至少一个气浮滑块，每个气浮滑块的支撑面上至少开设有一个棱锥均压腔，所述支撑面与基座相对，所述棱锥均压腔的锥底面与所述支撑面齐平，所述棱锥均压腔的顶点处设有节流孔，所述节流孔与设于所述气浮滑块内部的供气管路相通，所述供气管路与外部加压气源相通。
2.如权利要求1所述的均压腔气浮止推轴承，其特征在于，所述棱锥均压腔均布在每个气浮滑块的支撑面上。
3.如权利要求1所述的棱锥均压腔，其特征在于，所述棱锥均压腔为正棱锥均压腔。
4.如权利要求1所述的均压腔气浮止推轴承，其特征在于，所述棱锥均压腔为三棱锥均压腔、四棱锥均压腔、五棱锥均压腔或六棱锥均压腔。
5.如权利要求4所述的均压腔气浮止推轴承，其特征在于，所述棱锥均压腔为四棱锥均压腔，所述四棱锥均压腔的锥底面为菱形，所述菱形的两条对角线的长度比在0.75-1之间。
6.如权利要求1所述的均压腔气浮止推轴承，其特征在于，所述棱锥均压腔的深度小于0.5mm。
7.如权利要求1所述的均压腔气浮止推轴承，其特征在于，所述气浮滑块的支撑面开有真空腔，所述真空腔上开有若干真空孔，所述真空孔与设于气浮滑块内的真空管路相通。
8.如权利要求7所述的均压腔气浮止推轴承，其特征在于，所述真空腔的深度为0.5mm～6mm。
9.如权利要求1所述的均压腔气浮止推轴承，其特征在于，所述气浮滑块的支撑面开有排气槽，所述排气槽开有排气孔，所述排气孔与设于气浮滑块内的排气管路相通。
10.如权利要求1所述的均压腔气浮止推轴承，其特征在于，所述气浮滑块的支撑面上设有硬质阳极氧化涂层。
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