[发明专利]多晶硅还原炉高压启动绝缘电极

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉高压启动绝缘电极，其特征在于，该电极穿装在 多晶硅还原炉炉体的安装孔中，呈“T”型结构，其位于炉内部分的“T” 型头与炉体之间套设有瓷环，位于炉外的部分套设有聚四氟环，“T” 型头与瓷环以及瓷环与炉体之间分别设有密封垫，电极在安装孔中套 设有绝缘筒，绝缘筒上端向内缩进一定距离，与瓷环伸入安装孔的端部 之间设有柔性密封垫，绝缘筒下端与聚四氟环密封，电极表面在瓷环 与绝缘筒交界处开设有环形槽，其内用耐高温绝缘带和耐高温绝缘漆 包裹处理。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉高压启动绝缘电极，其特征 在于，所述瓷环采用碳化硅或氮化硅材料。

3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉高压启动绝缘电极，其特征 在于，所述绝缘筒为聚四氟乙烯绝缘筒。

4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉高压启动绝缘电极，其特征 在于，所述瓷环与绝缘筒之间的密封垫采用电绝缘耐高温的膨胀聚四 氟乙烯密封垫。

5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉高压启动绝缘电极，其特征 在于，所述耐高温绝缘带采用软质云母带或聚四氟乙烯，耐高温绝缘 漆采用有机硅。

6.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉高压启动绝缘电极，其特征 在于，所述电极表面的环形槽长35-60mm、深1.5-2mm。

7.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉高压启动绝缘电极，其特征 在于，所述“T”型头与瓷环以及瓷环与炉体之间的密封垫采用固力特 密封材料或不锈钢包边增强柔性石墨垫。

8.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉高压启动绝缘电极，其特征 在于，所述绝缘筒下端与聚四氟环之间设有两个带有橡胶密封圈的迷 宫式密封结构。

9.根据权利要求8所述的多晶硅还原炉高压启动绝缘电极，其特征 在于，所述橡胶密封圈采用氟橡胶密封圈。