[发明专利]多晶硅还原炉高压启动绝缘电极

说明书

技术领域

本发明涉及绝缘电极，确切地说是多晶硅还原炉高压启动绝缘电极。

背景技术

目前，国内外多晶硅还原炉硅芯击穿启动，主要依靠电辐射加热器加 热来降低硅芯电阻率后满足低电压启动要求；使得启动过程时间较长，很 大程度上影响了生产效率，由此采用高压启动方式加快启动时间成为新工 艺的重点所向，用高电压产生强电场在很短时间就能改变硅芯导电特性， 使其内阻降低、导通电流迅速上升，从而使硅料内部的温度很快上升，大 大缩短了启动时间，提高了加工效率，从而降低能耗和提高产品质量。

由于国内多晶硅生产技术、设备主要依靠进口，其还原炉设计为低压 启动模式；要在此基础上实现高压启动除了增加高压启动设备外，最主要 的是解决还原炉电极的绝缘结构和密封结构从而满足高压启动要求。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明旨在提供一种多晶硅还原炉高压 启动绝缘电极。

本发明采用的技术方案是：

一种多晶硅还原炉高压启动绝缘电极，该电极穿装在多晶硅还原炉炉 体的安装孔中，呈“T”型结构，其位于炉内部分的“T”型头与炉体之间 套设有瓷环，位于炉外的部分套设有聚四氟环，“T”型头与瓷环以及 瓷环与炉体之间分别设有密封垫，电极在安装孔中套设有绝缘筒，绝 缘筒上端向内缩进一定距离，与瓷环伸入安装孔的端部之间设有柔性密 封垫，绝缘筒下端与聚四氟环密封，电极表面在瓷环与绝缘筒交界处 开设有环形槽，其内用耐高温绝缘带和耐高温绝缘漆包裹处理。

所述瓷环采用碳化硅或氮化硅材料。

所述绝缘筒为聚四氟乙烯绝缘筒。

所述瓷环与绝缘筒之间的密封垫采用电绝缘耐高温的膨胀聚四氟 乙烯密封垫。

所述耐高温绝缘带采用软质云母带或聚四氟乙烯，耐高温绝缘漆 采用有机硅。

所述电极表面的环形槽长35-60mm、深1.5-2mm。

所述“T”型头与瓷环以及瓷环与炉体之间的密封垫采用固力特密 封材料或不锈钢包边增强柔性石墨垫。

所述绝缘筒下端与聚四氟环之间设有两个带有橡胶密封圈的迷宫 式密封结构。

所述橡胶密封圈采用氟橡胶密封圈。

本发明经过电气试验证明，在额定工况下，此结构能承受的峰值 电压为25kv，在聚四氟乙烯绝缘柱的电极内径和外径间没有局部放 电现象，电极密封性能良好，完全能满足还原炉高压启动10KV的要 求。

附图说明

图1是本发明多晶硅还原炉高压启动绝缘电极的剖视图。

附图标记说明如下：

11——电极    12——瓷环

13——聚四氟环      14——密封垫

15——绝缘筒        16——密封垫

17——橡胶密封圈    18——环形槽

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本发明作进一步详细的说明。