[发明专利]用于沉积膜的方法和膜沉积装置

权利要求书

1.一种用于沉积膜的方法，包括：

准备通过升华而被提纯的沉积材料；

将所述沉积材料装入坩锅中；

在预处理室中的降低含水量的环境中固化已提纯的所述沉积材 料，所述固化是指通过加热和施加压力中的至少一种方法，将坩锅中 沉积材料的充填率增大至50％或更高的步骤，所述降低含水量的环境 是指露点为-95℃或更低的环境；

将所述坩锅通过降低含水量的环境从所述预处理室输送至膜沉积 室中；以及

在所述膜沉积室中将已固化的所述沉积材料的膜沉积在基板上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述环境的压力为6.0×10^-3Pa 或更低。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述固化已提纯的所述沉积 材料包括通过在比升华的沉积材料的沸点更低的温度下加热为粉末形 式的所述沉积材料，并且同时用6.7kPa或更高的外部物理压力压缩述 沉积材料。

4.一种膜沉积装置，包括：

用于将沉积材料的膜沉积在基板上的膜沉积室；

用于容纳通过升华而被提纯的所述沉积材料的坩锅；

用于在降低含水量的环境中固化容纳在坩锅中的所述沉积材料的 预处理室，所述固化是指通过加热和施加压力中的至少一种方法，将 坩锅中沉积材料的充填率增大至50％或更高的步骤，所述降低含水量 的环境是指露点为-95℃或更低的环境；以及

构造成将所述坩锅从所述预处理室通过降低含水量的环境输送至 所述膜沉积室的输送单元。

5.根据权利要求5所述的膜沉积装置，进一步包括升华-提纯单 元，所述升华-提纯单元构造成在降低含水量的环境中通过升华来提纯 材料，以提供通过升华而被提纯的所述沉积材料。

6.一种用于制造包含有机材料的膜的方法，包括：

在压力为6.0×10^-3Pa或更低的环境中通过升华来提纯所述有机材 料；

将已提纯的所述有机材料装入坩锅中；

在压力为6.0×10^-3Pa或更低的环境中固化已提纯的所述有机材 料，所述固化是指通过加热和施加压力中的至少一种方法，将坩锅中 沉积材料的充填率增大至50％或更高的步骤；

在压力为6.0×10^-3Pa或更低的环境中将所述坩锅输送至一室内； 以及

在压力为6.0×10^-3Pa或更低的环境中通过加热已固化的所述有机 材料来将包含所述有机材料的膜形成在基板上。