[发明专利]显示用面板曝光装置和曝光方法及显示用面板曝光装置的组装或调整方法

权利要求书

1.一种显示用面板曝光装置，具有搬送基板的多个工作台，在搬送 后的曝光位置将掩模板的图案烧结在所述基板表面，其特征在于，

所述多个工作台中至少一个工作台是连接工作台，该连接工作台具有 多棱柱的结构，至少其一部分是中空，并且该连接工作台具有与另外两个 工作台接触的连接面，

在所述连接面的内侧具有用于连接工作台的螺栓座面，在与该座面相 对的连接面上具有加工用孔。

2.如权利要求1所述的显示用面板曝光装置，其特征在于，

在所述连接面的内侧具有用于设置连结用螺栓或螺母的座面，在与该 座面相对的连接面上具有至少比座面直径大的孔。

3.如权利要求2所述的显示用面板曝光装置，其特征在于，

所述座面由通过所述孔的切削机构进行加工。

4.一种显示用面板曝光装置，具有搬送基板的多个工作台，在搬送 后的曝光位置将掩模板的图案烧结在所述基板表面，其特征在于，

所述显示用面板曝光装置具有工作台上下调整机构，该工作台上下调 整机构具备：

突起部，其设置在所述多个工作台中具有连接面的两个工作台中的一 方工作台的所述连接面上；

凹部，其设置在另一方工作台的所述连接面上并能够将所述突起部插 入；

突起部上下移动机构，所述另一方工作台的上表面包括对位螺栓，通 过拧紧该对位螺栓，从所述另一方工作台的上表面将所述一方工作台的突 起部上下移动，

在所述连接面的内侧具有用于连接工作台的螺栓座面，在与该座面相 对的连接面上具有加工用孔。

5.如权利要求4所述的显示用面板曝光装置，其特征在于，

所述显示用面板曝光装置具有一对工作台上下调整机构，该一对工作 台上下调整机构包括所述一方工作台上下调整机构和与所述一方工作台 上下调整机构相邻的另一方工作台上下调整机构，

该另一方工作台上下调整机构具备：

突起部，其设置在所述另一方工作台的所述连接面上；

凹部，其设置在所述一方工作台的所述连接面上并能够将所述突起部 插入；

突起部上下移动机构，其从所述一方工作台的上表面将所述突起部上 下移动。

6.如权利要求4或5所述的显示用面板曝光装置，其特征在于，

所述突起部上下移动机构具有螺栓，该螺栓在具有所述凹部的工作台 的上表面具有座面，且另一端与所述突起部卡合。

7.一种显示用面板曝光装置，具有搬送基板的多个工作台，在搬送 后的曝光位置将掩模板的图案烧结在所述基板表面，其特征在于，

所述显示用面板曝光装置具有在所述多个工作台中的两个工作台的 连接面上设置的空气储存室以及调节所述空气储存室的空气量的机构，

在所述连接面的内侧具有用于连接工作台的螺栓座面，在与该座面相 对的连接面上具有加工用孔。

8.如权利要求7所述的显示用面板曝光装置，其特征在于，

所述空气储存室是在所述两个工作台中至少一方的连接面上设置的 凹部。

9.如权利要求4所述的显示用面板曝光装置，其特征在于，

所述两个工作台中的一个工作台至少其一部分是中空且具有多棱柱 构造。

10.如权利要求7所述的显示用面板曝光装置，其特征在于，

所述两个工作台中的一个工作台至少其一部分是中空且具有多棱柱 的构造。

11.如权利要求1或9或10所述的显示用面板曝光装置，其特征在 于，

所述的多棱柱是4棱柱。