[发明专利]显示用面板曝光装置和曝光方法及显示用面板曝光装置的组装或调整方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种显示用面板等的基板的制造装置，尤其涉及一种在玻 璃基板上形成图形的液晶曝光装置。

背景技术

将掩模和基板玻璃靠近在1mm以下并照射平行光从而在基板玻璃上 转印掩模图案的近接方式的曝光装置被用于制造以液晶为首的显示用面 板。对于该曝光装置处理的基板玻璃而言，为了提高液晶面板的生产性， 其大型化在不断发展中，以使曝光装置在一次曝光下作成的液晶面板的数 量增多，其尺寸可根据情况达到10m(长)×5m(宽)×8m(高)，重量 仅台架就能达到100吨。在曝光装置大型化的情况下，当从装置组装工场 向液晶面板制造工场搬送或制造时，为了不使其重量或尺寸成为障碍，将 曝光装置或构成该曝光装置的台架装置由分割成的若干个部件组装构成。

在下面的文献中对曝光装置的台架装置的分割结构及其连接方法进 行了叙述。在专利文献1、2均公开了一种曝光装置，该曝光装置将玻璃 基板交替地从左右的搬入台架搬送到中央的曝光台架并进行曝光。在专利 文献1中提出有以移动导轨不分割的方式将搬入台架和移动到中央的曝光 台架的引导台架形成为一体并左右分割的结构。在专利文献2中提出将台 架分割成左右的搬入台架和曝光台架这三部分的结构。

专利文献1：日本特开2005-189775号公报；

专利文献2：日本特开2007-065588号公报。

但是，专利文献1以通过左右交替地曝光来谋求曝光的高效率化为目 的，没有认识到对所述大型装置的分割，另外，在两个工作台的连接中， 公开了用螺栓隔着衬垫连接两个工作台的方法，但是由于移动导轨没有被 分割，因此该连接也是不必要的。另一方面，专利文献2虽然认识到了对 大型装置的分割，但是对如何连接分割后的台架等没有进行公开。

本发明针对现有技术中没有认识到的以下记载的新的课题而提出。 即，现有技术的台架装置是在输送分割状态的台架装置后，在装置设置场 所组装并使用的装置。其组装中的连接强度依赖于连接时使用的螺栓的强 度和螺栓产生的轴向力。用于液晶曝光装置的台架从其尺寸和需要的强度 出发多由铸件制造，因此存在连接台架的螺栓的座面的凸凹或倾斜使轴向 力下降的情况。(第一课题)

另外，由于台架装置大型，为了使支承它的腿的负荷变小而需要设置 多个腿。台架装置组装后几年至十年间持续可动，在该期间，当有设置场 所的地基变动时，在从分割状态进行组装的部位的调整中，很难对台架下 面的多个腿进行调整操作。(第二课题)

另外，在台架装置的组装部位上除了使接触面上下移动的力以外，还 作用欲要弯曲的力。若为了调整而将组装台架的部位的螺栓放松或拧紧， 则由于该力，各部位有时自由地变位而使得调整困难。(第三课题)

因此，本发明的第一目的是提供一种液晶曝光装置，对于容易加工和 输送的分割状态的台架，能够增强台架组装中的连接强度。

本发明的第二目的是提供一种能够容易组装，或者组装后能够很容易 地调整从分割状态组装后的部位的液晶曝光装置或液晶曝光方法及曝光 装置的组装或调整方法。

发明内容

为了实现第一目的，本发明提供一种显示用面板曝光装置，其具有搬 送基板的多个工作台，在搬送后的曝光位置将掩模板的图案烧结在所述基 板表面，其特征在于，所述多个工作台中至少一个工作台是连接工作台， 该连接工作台具有多棱柱的结构，至少其一部分是中空，并且该连接工作 台具有与另外两个工作台接触的连接面。

另外，为了实现第一目的，本发明的第二特征在于，在第一特征的基 础上，在所述连接面的内侧具有连结用的螺栓或螺母用的座面，在与该座 面相对的面上具有至少比座面直径大的孔。

进而，为了实现第一目的，本发明的第三特征在于，在第二特征的基 础上，所述座面利用通过所述孔的切削机构进行加工。

另外，为了实现第二目的，本发明的第四特征在于，具有工作台上下 调整工序，其中，将在所述多个工作台中的具有连接面的两个工作台中的 一方工作台的所述连接面上设置的突起部插入在另一方工作台的所述连 接面上设置的凹部，从所述另一方工作台的上表面上下移动所述突起部， 从而上下调整所述一方工作台的位置。