[发明专利]薄膜的清洗喷嘴装置无效
| 申请号： | 200910205177.4 | 申请日： | 2009-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN101722156A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 杉谷悟;妻木伸夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立工业设备技术 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张斯盾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 清洗 喷嘴 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜的清洗喷嘴装置，其特征在于，具备：一或两张平部 件，
形成于上述平部件的清洗液排出口，该清洗液排出口相对于在平 部件平行行走的薄膜的表里面的至少一个面侧，喷出清洗液，
上述平部件和上述薄膜的间隙在0.25mm以下。
2.如权利要求1所述的薄膜的清洗喷嘴装置，其特征在于，在上 述平部件为两张时，
与上述薄膜的表里面相对地设置一对以上上述清洗液排出口。
3.如权利要求1所述的薄膜的清洗喷嘴装置，其特征在于，上述 平部件具备将喷出到上述薄膜的清洗液回收的清洗液回收口。
4.如权利要求3所述的薄膜的清洗喷嘴装置，其特征在于，在上 述平部件为两张时，
与上述薄膜的表里面相对地设置一对以上上述清洗液回收口。
5.如权利要求1至4中的任一项所述的薄膜的清洗喷嘴装置，其 特征在于，在上述薄膜的清洗喷嘴装置内，
设置对将清洗液向薄膜喷出的压力进行减压的减压机构。
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