[发明专利]光介质用溅射靶及其制造方法、和光介质及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200910205799.7 申请日: 2009-09-22
公开(公告)号: CN101684544A 公开(公告)日: 2010-03-31
发明(设计)人: 川口行雄;栗林勇 申请(专利权)人: TDK株式会社
主分类号: C23C14/14 分类号: C23C14/14;C23C14/34;C22C21/00;C22C1/04;G11B7/24;G11B7/26
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 代理人: 龙 淳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 介质 溅射 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种光介质,其特征在于,包括:

基板;和

反射层,其设置在所述基板上,具有以Al为主成分、并含有1~ 10at%的选自Ta和Nb中的1种或2种元素、以及0.1~10at%的Ag 的组成,

在所述反射层的成膜结束面一侧有光入射面,从该光入射面入射 读取用或写入用的激光束,

在所述反射层上还设置有至少具有2个反应层的记录层,在所述 反射层和所述记录层之间具有电介质层,在令所述电介质层的折射率 为n、所述电介质层的膜厚为d的情况下,为66<nd<76,膜厚d的 单位是nm。

2.如权利要求1所述的光介质,其特征在于:

一个所述反应层的构成元素和其它的所述反应层的构成元素通过 写入用的激光束的照射能够互相混合。

3.如权利要求1所述的光介质,其特征在于:

所述记录层具有第一反应层和第二反应层,该第一反应层以选自 Cu、Al、Zn和Ag中的1种元素为主成分,该第二反应层以选自Si、 Ge和Sn中的1种元素为主成分。

4.一种光介质的制造方法,其特征在于,所述光介质是如权利要 求1~3中的任一项所述的光介质,

所述光介质的制造方法包括:使用以Al为主成分、并含有1~10at %的选自Ta和Nb中的1种或2种元素、以及0.1~10at%的Ag的光 介质用溅射靶,对反射层进行成膜的工序。

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