[发明专利]一种工作台倾角调整结构无效
申请号: | 200910206225.1 | 申请日: | 2009-10-18 |
公开(公告)号: | CN101692420A | 公开(公告)日: | 2010-04-07 |
发明(设计)人: | 蔡英;朱祥龙;顾荣军 | 申请(专利权)人: | 无锡机床股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;B23Q1/74 |
代理公司: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人: | 顾吉云 |
地址: | 214061 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工作台 倾角 调整 结构 | ||
1.一种工作台倾角调整结构,其包括工作台、吸盘、床身、三个支脚,所 述吸盘紧固于所述工作台上端面,所述工作台通过均布于其工作台法兰圆周的 所述三个支脚连接所述床身,其特征在于:所述三个支脚中其中一个为可调支 脚、其余两个为固定支脚,所述可调支脚的螺母座下部螺纹连接有传动螺杆, 所述传动螺杆连接有外部驱动装置。
2.根据权利要求1所述一种工作台倾角调整结构,其特征在于:所述固定 支脚包括固定柱、螺套、轴套,所述工作台法兰、床身上均开有支脚的安装孔, 所述固定柱压装于所述工作台法兰下端面、所述床身上端面间,所述轴套塞装 于所述工作台法兰的安装孔内,所述轴套下端与所述固定柱的上端面嵌套连接, 装于所述工作台法兰安装孔内的螺钉紧固连接所述轴套、所述固定柱,所述螺 套安装于所述床身的安装孔内,所述螺套的上端面与所述固定柱的下端面嵌套 连接,装于所述床身安装孔内的螺钉紧固连接所述螺套、所述固定柱,螺钉紧 固连接所述固定柱的下部和所述床身。
3.根据权利要求2所述一种工作台倾角调整结构,其特征在于:所述可调 支脚包括传动螺杆、螺母座、外部驱动装置,所述工作台法兰、床身上均开有 可调支脚的安装孔,所述螺母座上部装于所述工作台法兰的安装孔内,其外露 于所述工作台法兰部分通过双螺母与所述工作台法兰并紧,所述螺母座下部外 露于所述工作台法兰部分的上端面与所述工作台法兰的下端面平面连接,所述 传动螺杆的上端外螺纹与螺母座下端内螺纹螺纹连接,所述传动螺杆的下端连 接所述外部驱动装置,所述传动螺杆的贯穿所述床身的安装孔。
4.根据权利要求3所述一种工作台倾角调整结构,其特征在于:所述外部 驱动装置具体为减速机、微型驱动电机,所述传动螺杆的下端通过联轴器连接 所述减速机的输出端,所述微型驱动电机的输出端连接所述减速机的输入端, 所述微型驱动电机连接控制系统。
5.根据权利要求4所述一种工作台倾角调整结构,其特征在于:所述传动 螺杆的中部贯穿轴座,所述轴座安装于所述床身的安装孔,螺钉紧固连接所述 轴座、所述床身,所述轴座下部外露于所述床身下端面,支座紧固连接于所述 轴座下部,所述传动螺杆的下端位于所述支座内部,所述传动螺杆与所述支座 内壁所形成的间隙内安装有碟形弹簧,所述碟形弹簧支承于双螺母,所述双螺 母于所述传动螺杆螺纹连接,所述联轴器位于所述支座内部,所述减速机通过 螺钉紧固连接于所述支座底部。
6.根据权利要求5所述一种工作台倾角调整结构,其特征在于:螺钉装于 所述螺母座顶部孔槽内,其与所述螺母座内壁所形成的间隙内安装有蝶形弹簧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造