[发明专利]一种工作台倾角调整结构

说明书

(一)技术领域

本发明涉及半导体晶片加工设备技术领域，具体为一种工作台倾角调整结 构。

(二)背景技术

现有的工作台倾角调整结构采用三点式，即分别调整三点高度后定工作台 与水平面的夹角，调节时由于要分别调整三点的高度，调整比较复杂，且由于 现有调整通过手动调整，其调整的分辨率低，又由于该调整结构一般位于机床 内部，手动调整不方便。

(三)发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种工作台倾角调整结构，其调整简单、方 便，且调整的分辨率高。

其技术方案是这样的：其包括工作台、吸盘、床身、三个支脚，所述吸盘 紧固于所述工作台上端面，所述工作台通过均布于其工作台法兰圆周的所述三 个支脚连接所述床身，其特征在于：所述三个支脚中其中一个为可调支脚、其 余两个为固定支脚，所述可调支脚的螺母座下部螺纹连接有传动螺杆，所述传 动螺杆连接有外部驱动装置。

其进一步特征在于：所述固定支脚包括固定柱、螺套、轴套，所述工作台 法兰、床身上均开有支脚的安装孔，所述固定柱压装于所述工作台法兰下端面、 所述床身上端面间，所述轴套塞装于所述工作台法兰的安装孔内，所述轴套下 端与所述固定柱的上端面嵌套连接，装于所述工作台法兰安装孔内的螺钉紧固 连接所述轴套、所述固定柱，所述螺套安装于所述床身的安装孔内，所述螺套 的上端面与所述固定柱的下端面嵌套连接，装于所述床身安装孔内的螺钉紧固 连接所述螺套、所述固定柱，螺钉紧固连接所述固定柱的下部和所述床身；

所述可调支脚包括传动螺杆、螺母座、外部驱动装置，所述工作台法兰、 床身上均开有可调支脚的安装孔，所述螺母座上部装于所述工作台法兰的安装 孔内，其外露于所述工作台法兰部分通过双螺母与所述工作台法兰并紧，所述 螺母座下部外露于所述工作台法兰部分的上端面与所述工作台法兰的下端面平 面连接，所述传动螺杆的上端外螺纹与螺母座下端内螺纹螺纹连接，所述传动 螺杆的下端连接所述外部驱动装置，所述传动螺杆的贯穿所述床身的安装孔；

所述外部驱动装置具体为减速机、微型驱动电机，所述传动螺杆的下端通 过联轴器连接所述减速机的输出端，所述微型驱动电机的输出端连接所述减速 机的输入端，所述微型驱动电机连接控制系统；

所述传动螺杆的中部贯穿轴座，所述轴座安装于所述床身的安装孔，螺钉 紧固连接所述轴座、所述床身，所述轴座下部外露于所述床身下端面，支座紧 固连接于所述轴座下部，所述传动螺杆的下端位于所述支座内部，所述传动螺 杆与所述支座内壁所形成的间隙内安装有碟形弹簧，所述碟形弹簧支承于双螺 母，所述双螺母于所述传动螺杆螺纹连接，所述联轴器位于所述支座内部，所 述减速机通过螺钉紧固连接于所述支座底部；

螺钉装于所述螺母座顶部孔槽内，其与所述螺母座内壁所形成的间隙内安 装有蝶形弹簧。

采用本发明的上述结构后，通过外部驱动装置驱动所述传动螺杆，所述传 动螺杆带动所述螺母座上下调整，进而所述螺母座带动所述工作台上下调整， 达到调整工作台倾角的目的，由于实际调整量一般为0～500μm，调整量非常小， 所述两个固定支脚处的弹性变形量足以使所述工作台平面和水平面产生一定的 倾角。综上所述，由于本发明的结构只需调整一个可调支脚，且采用外部驱动 装置进行驱动调整，其调整简单、方便，且调整的分辨率高。

(四)附图说明

图1是本发明的结构主视图旋转剖示意图；

图2是本发明的立体图示意图。

(五)具体实施方式