[发明专利]液状体的排出方法、滤色器的制造方法及有机电致发光装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及将液状体从喷嘴排出的液状体的排出方法、滤色器的制造方法及有机EL(电致发光)装置的制造方法。

背景技术

例如，在液晶显示装置等的滤色器、有机EL装置的成膜等领域，应用排出包含功能性材料的液状体的液状体排出方法。在该液状体的排出方法中采用液状体排出装置。液状体排出装置具有被称为液滴排出喷头的液滴排出机构。在该液滴排出喷头中有规则地形成有多个喷嘴。在滤色器、有机EL装置的制造中，从这些喷嘴向基板等作为液滴而排出包含功能性材料的液状体，形成包含功能性材料的薄膜。

近年来，显示装置所应用的领域正在扩大，可提供各种尺寸的面板。并且，对显示装置的高像质化也有要求，为了响应该要求而必须实现高精细、高密度的滤色器、有机EL装置的成膜。为此，对于各种尺寸的基板，使液状体高精细、高密度地排出变得重要。并且，由于显示装置的面板的需要在增多、并为了使得面板的生产性提高，也要求从1块大型基板制造出多块面板。该情况下，为了提高所获得块数的效率、或为了从1块基板生产出不同尺寸的面板，研究了各种布局设计。根据布局设计的不同而存在如下情况：在1块大型基板上混合存在有具有尺寸不同的像素区域(为排出液状体的最小单位的区域)的面板。

作为从液滴排出喷头向工件(基板)作为液滴排出液状体而进行图形的描绘的液滴排出装置及液滴排出方法，已知如下液滴排出装置及液滴排出方法：使工件在第1方向及与第1方向基本正交的第2方向上移动，从沿第2方向预先被定位的多个配设于托架的液滴排出喷头的喷嘴排出液状体而进行图形的描绘(例如，参照专利文献1)。

【专利文献1】特开2006-187758号公报

前述的液滴排出装置从预先定位的喷嘴将液状体排出于基板的预定的区域。还有，喷嘴以一定的间距构成为列状，作为被排出液状体的最小单位的区域的像素区域形成为基本矩形形状。因此，即使为了防止向区域内的产生偏差的位置排出液状体、使喷嘴的排出不匀分散，也优选从尽量多的喷嘴向像素区域供给液状体。

可是，若在1块基板混合存在尺寸不同的像素区域而构成时，则能够向区域内排出液状体的喷嘴因像素区域而受限制，有可能向区域内的产生偏差的位置排出液状体而在区域内产生液状体的排出量的偏差。若产生液状体的排出量的偏差，则有可能使得形成于区域的薄膜的厚度产生不均匀。在液晶显示装置等的滤色器、有机EL装置的功能膜等的薄膜中，若产生膜厚的不均匀，则所制造的显示装置的图像质量下降。即，若在1块大型基板上混合存在具有尺寸不同的像素区领域的面板，则存在难以高效生产质量稳定的面板的问题。

发明内容

本发明用于解决上述的问题的至少一部分所作出，可以作为以下的方式或应用例而实现。

(应用例1)液状体的排出方法的特征为：包括排出工序，该工序中一边使将作为液滴而排出液状体的多个喷嘴配设为列状的喷嘴列与具备多个被排出区域的基板在与前述喷嘴列的配置方向基本正交的主扫描方向相对移动，一边从前述喷嘴向前述被排出区域排出前述液状体；前述被排出区域包括第1被排出区域及第2被排出区域；前述第1被排出区域的面积与前述第2被排出区域的面积不同；在前述排出工序中设定为，前述液状体对于前述第1被排出区域的排出条件与前述液状体对于前述第2被排出区域的排出条件不同。

如果依照于该方法，则能够使从喷嘴向第1被排出区域供给液状体的排出条件与向第2被排出区域供给液状体的排出条件分别不同进行设定。因此，能够对于第1被排出区域及第2被排出区域，选择符合各自的要求规格或特征的最佳的排出条件。其结果，即使在1块基板混合存在不同的规格或条件的被排出区域，也能够向每个被排出区域以适当的排出条件供给液状体，能够减少液状体的排出量的偏差等的不良状况。从而，能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜而利于生产性的提高。

并且，面积小的被排出区域限制能够向区域内排出液状体的喷嘴个数。如果依照于该方法，则能够使向第1被排出区域供给液状体的排出条件与向第2被排出区域供给液状体的排出条件分别不同进行设定。因此，即使对于面积小的被排出区域也能够通过使排出条件不同而稳定地供给预定的液状体。其结果，能够减少液状体的排出量的偏差等的不良状况，能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜。从而，有利于生产性的提高。

(应用例2)上述液状体的排出方法的特征为：设定为，前述液滴从前述喷嘴排出到前述第1被排出区域内的滴入密度与前述液滴从前述喷嘴排出到前述第2被排出区域内的滴入密度不同。