[发明专利]材料气体浓度控制装置

权利要求书

1.一种材料气体浓度控制装置，用于材料气化系统，所述材料气化 系统包括：贮槽，收纳材料；导入管，将使被收纳的材料气化的载气导入 所述贮槽；以及导出管，从所述贮槽中导出所述材料气化而成的材料气体 及所述载气的混合气体，其特征在于所述材料气体浓度控制装置包括：

基体，具有连接于所述导出管，用来使所述混合气体流动的内部流路；

浓度测量部，对在所述内部流路中流动的所述混合气体中的所述材料 气体的浓度进行测量；以及

第1阀，在所述浓度测量部的下游，通过控制第1阀的开度以控制所 述混合气体的总压，藉此将由所述浓度测量部测量的测量浓度调节为预定 的设定浓度；

且，所述浓度测量部及所述第1阀安装在所述基体上。

2.根据权利要求1所述的材料气体浓度控制装置，其中所述浓度测 量部包含：

分压测量部，测量所述材料气体的分压；以及

压力测量部，测量所述混合气体的压力；

且，根据所述分压测量部所测量的测量分压及所述压力测量部所测量 的测量压力，来测量所述混合气体中所述材料气体的浓度。

3.根据权利要求1或2所述的材料气体浓度控制装置，其中所述内 部流路中的表面经过镜面加工。

4.根据权利要求1或2所述的材料气体浓度控制装置，其中还包括 温度测量部，用来测量在所述内部流路中流动的所述混合气体的温度。