[发明专利]芯片分离器

权利要求书

1.一种芯片分离器(1)，包括：

腔室(2)，所述腔室(2)具有盖板(3)，所述腔室(2)能经受真空，所述 盖板包括具有孔(6)的表面，

多个板(8)，所述多个板(8)布置在所述腔室(2)的内部，且突出到所 述孔(6)中，并且能沿相对于所述盖板(3)的表面(9)垂直延伸或以倾斜方 式延伸的方向移位，以及

用于使所述板(8)移位的驱动装置，所述驱动装置包括驱动机构 (12)，所述驱动机构(12)包括马达(14)和销(13)，

所述销(13)能通过所述马达(14)沿预定路径(17)在两个位置之间来 回移动，

所述板(8)中每一个板具有路径状开口(16)，而所述销(13)通过所述 板(8)中每一个板的所述路径状开口(16)被引导，其中从一个板(8)到另 一个板(8)所述路径状开口(16)是不同的，使得当所述销(13)沿所述预定 路径(17)移动时，所述板(8)以预定顺序在上述的相对于所述盖板(3)的 表面(9)垂直延伸或以倾斜方式延伸的方向上移位。

2.根据权利要求1所述的芯片分离器(1)，其中，所述驱动装置包 括另一驱动机构(11)，利用该另一驱动机构(11)，所述板(8)能沿上述的 相对于所述盖板(3)的表面(9)垂直延伸或以倾斜方式延伸的方向共同移 位。

3.根据权利要求1或2所述的芯片分离器(1)，其中，所述板(8) 包括第一部分(8A)和第二部分(8B)，所述第一部分(8A)包含所述路径状 开口(16)，并布置在所述腔室(2)中且与所述驱动机构(12)相联接，而所 述第二部分(8B)能够插在所述第一部分(8A)上。