[发明专利]实现拾取和翻转芯片的装置有效
申请号: | 200910217905.3 | 申请日: | 2009-11-24 |
公开(公告)号: | CN101710565A | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 张德龙;吴玉彬;宋志;常丰吉;田学光 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/683 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 王淑秋 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 实现 拾取 翻转 芯片 装置 | ||
1.一种实现拾取和翻转芯片的装置,其特征在于包括翻转电机固定板(21), 翻转电机(20),翻转电机连接套(22),吸头装置(14);所述的翻转电机固定 在翻转电机固定板(21)上;所述的吸头装置(14)包括翻转杆(13),吸头座 (26),导向杆(27),芯片保护弹簧(28),吸杆(25),吸嘴(24);翻转电机 (20)的转轴通过翻转电机连接套(22)与翻转杆(13)连接;吸头座(26) 通过止口与翻转杆(13)定位和连接;导向杆(27)的上部位于吸头座(26) 的空腔内,其下部由吸头座(26)下端的通孔伸出,并且导向杆与吸头座(26) 接触部分有导向面;芯片保护弹簧(28)套装在导向杆(27)上,其上端与翻 转杆(13)相接触,下端卡在导向杆(27)的台肩处;吸杆(25)的上部与导 向杆(27)的下部固定连接,并且吸杆(25)的下端固定有吸嘴(24);翻转杆 (13)内部的通孔(131)与导向杆(27)、吸杆(25)、吸嘴(24)的轴孔共同 构成真空通道,并且翻转杆(13)内部的通孔(131)与翻转杆上安装的气管接 头(23)相通。
2.根据权利要求1所述的实现拾取和翻转芯片的装置,其特征在于所述的 翻转电机固定板(21)上固定安装吸头限位装置(6)。
3.根据权利要求1所述的实现拾取和翻转芯片的装置,其特征在于还包括 Z向运动电机(1),Z向运动电机固定板(2),凸轮连接套(3),凸轮(4), 导轮装置(5),翻转头支座(11),直线导轨连接座(15),直线导轨(41),滑 块(18),复位弹簧支座(10),复位弹簧(17),直线导轨限位装置(19),X 向微调平台(7),Y向微调螺钉座(12),Y向微调锁紧螺钉(8),Y向微调螺 钉(9);所述的Z向运动电机(1)与Z向电机固定板(2)固定连接;Z向运 动电机(1)的转轴通过凸轮连接套(3)与凸轮(4)固定连接;凸轮(4)的 外缘与导轮装置(5)接触;导轮装置(5)与翻转头支座(11)固定连接;直 线导轨连接座(15)与Z向电机固定板(2)分别固定于一个固定基座;翻转 头支座(11)通过直线导轨(41)和滑块(18)与直线导轨连接座(15)连接, 其中,滑块(18)与翻转头支座(11)固定连接,直线导轨(41)与直线导轨 连接座(15)固定连接;复位弹簧支座(10)与翻转头支座(11)固定连接; 复位弹簧(17)的一端与直线导轨连接座(15)连接,另一端与复位弹簧支座 (10)连接;直线导轨限位装置(19)固定在直线导轨连接座(15)上;X向 微调平台(7)的固定部分与翻转头支座(11)固定连接,X向微调平台(7) 的可微调滑动的部分与翻转电机固定板(21)固定连接;翻转杆(13)通过导 向面与翻转电机连接套(22)连接;Y向微调螺钉座(12)与翻转电机连接套 (22)端部固定连接,Y向微调螺钉(9)穿过Y向微调螺钉座(12)的通孔与 翻转杆螺纹连接,Y向微调螺钉(9)与Y向微调螺钉座(12)之间通过一个 轴用弹簧卡圈连接固定;Y向微调锁紧螺钉(8)安装在翻转杆(13)与翻转电 机连接套(22)连接的部分。
4.根据权利要求3所述的实现拾取和翻转芯片的装置,其特征在于所述导 轮装置(5)包括导轮支架(31)、导轮轴轴套(32)、导轮(33)、导轮轴(34); 导轮采用标准轴承,该标准轴承通过导轮轴(34)和导轮轴轴套(32)与导轮 支架(32)连接在一起;凸轮(4)的外缘与导轮(33)的外缘接触。
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