[发明专利]应用于太阳能电池导电玻璃的镀膜工艺

权利要求书

1.一种应用于太阳能电池导电玻璃的镀膜工艺，其特征在于：该镀膜工艺是利用导电玻璃镀膜设备，通过以下工艺步骤实现的，所述的导电玻璃镀膜设备包括设备主体两端设置的缓冲仓室(1)、(2)，靠近缓冲仓室(1)依次排列设置的加热仓室(3)、(4)、(5)，设置在加热仓室(5)和缓冲仓室(2)之间的依次排列的溅镀仓室(6)、(7)、(8)、(9)，所述的缓冲仓室(1)、(2)，加热仓室(3)、(4)、(5)，溅镀仓室(6)、(7)、(8)、(9)各仓室构成导电玻璃镀膜设备主体，各个仓室之间通过阀门(12)被间隔成相对独立的空间，在导电玻璃镀膜设备主体的下面设置有真空系统(10)，它通过其上设置的多个真空管路(11)与导电玻璃镀膜设备主体上的各个仓室连通；

该镀膜工艺的具体步骤是：电池在挂有电池挂片箱的传送导轨的带动下一次两片进入缓冲仓室(1)，然后依次进入加热仓室(3)、(4)、(5)，在三个加热仓室中分别对电池片进行加热，加热温度分别是80℃，140℃，200℃；加热完后，电池片进入溅镀仓室(6)、(7)、(8)、(9)，在溅镀仓室(6)、(7)、(8)、(9)内两侧设置有氧化锌旋转靶材，每侧分别为两个，用来溅镀氧化锌透明导电膜，由于透明导电膜较厚，所以依次在四个溅镀仓对电池片进行溅镀四次，以达到所需要的参数；真空系统(10)通过连接到各个仓室的真空管路(11)来控制各个仓室的真空值，真空溅镀完成后电池片经缓冲室(2)进入下一个生产设备。

2.根据权利要求1所述的一种应用于太阳能电池导电玻璃的镀膜工艺，其特征在于：所述的加热仓室(3)的温度设置为80℃，加热仓室(4)的温度设置为140℃，加热仓室(5)的温度设置为200℃。

3.根据权利要求1所述的一种应用于太阳能电池导电玻璃的镀膜工艺，其特征在于：所述的溅射仓室(6)、(7)、(8)、(9)采用30KW的直流脉冲电源，频率为3KHz-350KHz，气压为100Pa，溅射仓室温度保持200℃，在上述控制条件下，对溅射的时间进行控制，膜厚为600nm-800nm(±5％)，可见光透过率为≥80％，雾度为10％-30％，方阻为8-10Ω。

4.根据权利要求1所述的一种应用于太阳能电池导电玻璃的镀膜工艺，其特征在于：所述的真空系统(10)通过真空管道(11)连接到设备主体上的各个仓室，控制设备主体上各个仓室的真空值，其中相对独立的所有仓室的真空度均为10^-4。

5.根据权利要求1所述的一种应用于太阳能电池导电玻璃的镀膜工艺，其特征在于：所述的溅镀仓室(6)、(7)、(8)、(9)内两侧设置有用来溅镀氧化锌透明导电膜的氧化锌旋转靶材(13)，每侧分别为两个。