[发明专利]应用于太阳能电池导电玻璃的镀膜工艺

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池生产领域，具体的说是一种太阳能电池溅渡透明导电膜的导电玻璃的镀膜工艺。

背景技术

在非晶硅太阳能电池中，透明导电膜需要溅镀在电池片上，做为非晶硅太阳能电池的窗口层和前电极使用，该部分作为电池发电的重要部位，直接影响着对光的吸收程度，以及发电的效率。

而现有工艺对于溅镀透明导电膜的各项参数达不到的要求，溅射效率低，镀膜效果不好。急于需要寻找一种能够更好的溅镀透明导电膜的工艺，以适应生产的需要。

发明内容

本发明的目的是要提供一种应用于太阳能电池导电玻璃的镀膜工艺，该工艺在溅射透明导电膜时，能够使沉积时的透明导电膜的各项参数得到进一步提高，整体提高太阳能电池的输出效率。

本发明的目的是这样实现的：该镀膜工艺是利用专用的导电玻璃镀膜设备实现的，所述的导电玻璃镀膜设备包括设备主体两端设置的缓冲仓室，靠近缓冲仓室依次排列设置的加热仓室，设置在加热仓室和缓冲仓室之间的依次排列的溅镀仓室，所述的缓冲仓室，加热仓室，溅镀仓室各仓室构成导电玻璃镀膜设备主体，各个仓室之间通过阀门被间隔成相对独立的空间，在导电玻璃镀膜设备主体的下面设置有真空系统，它通过其上设置的多个真空管路与导电玻璃镀膜设备主体上的各个仓室连通；

该镀膜工艺的具体步骤是：电池在挂有电池挂片箱的传送导轨的带动下一次两片进入缓冲仓室，然后依次进入加热仓室，在三个加热仓室中分别对电池片进行加热，加热温度分别是80℃，140℃，200℃；加热完后，电池片进入溅镀仓室，在溅镀仓室内两侧设置有氧化锌旋转靶材，每侧分别为两个，用来溅镀氧化锌透明导电膜，由于透明导电膜较厚，所以依次在四个溅镀仓对电池片进行溅镀四次，以达到所需要的参数；真空系统通过连接到各个仓室的真空管路来控制各个仓室的真空值，真空溅镀完成后电池片经缓冲室进入下一个生产设备。

本发明由于采用上述专用的导电玻璃镀膜设备和新的工艺参数，使透明导电膜溅镀的更加均匀，成膜的效果更好，，整体提高太阳能电池的输出效率。

附图说明

图1为本发明导电玻璃镀膜设备整体结构俯视图。

图2为本发明图1中A-A剖视图。

具体实施方式

由附图1、2所示：该镀膜工艺是利用专用导电玻璃镀膜设备实现的，所述的导电玻璃镀膜设备包括设备主体两端设置的缓冲仓室1、2，靠近缓冲仓室1依次排列设置的加热仓室3、4、5，设置在加热仓室5和缓冲仓室2之间的依次排列的溅镀仓室6、7、8、9，所述的缓冲仓室1、2，加热仓室3、4、5，溅镀仓室6、7、8、9各仓室构成导电玻璃镀膜设备主体，各个仓室之间通过阀门12被间隔成相对独立的空间，在导电玻璃镀膜设备主体的下面设置有真空系统10，它通过其上设置的多个真空管路11与导电玻璃镀膜设备主体上的各个仓室连通；

该镀膜工艺的具体步骤是：电池在挂有电池挂片箱的传送导轨的带动下一次两片进入缓冲仓室1，然后依次进入加热仓室3、4、5，在三个加热仓室中分别对电池片进行加热，加热温度分别是80℃，140℃，200℃；加热完后，电池片进入溅镀仓室6、7、8、9，在溅镀仓室6、7、8、9内两侧设置有氧化锌旋转靶材，每侧分别为两个，用来溅镀氧化锌透明导电膜，由于透明导电膜较厚，所以依次在四个溅镀仓对电池片进行溅镀四次，以达到所需要的参数；真空系统10通过连接到各个仓室的真空管路11来控制各个仓室的真空值，真空溅镀完成后电池片经缓冲室2进入下一个生产设备。

所述的加热仓室3的温度设置为80℃，加热仓室4的温度设置为140℃，加热仓室5的温度设置为200℃。

所述的溅射仓室6、7、8、9采用30KW的直流脉冲电源，频率为3KHz-350KHz，气压为100Pa，溅射仓室温度保持200℃，在上述控制条件下，对溅射的时间进行控制，膜厚为600nm-800nm(±5％)，可见光透过率为≥80％，雾度为10％-30％，方阻为8-10Ω。

所述的真空系统10通过真空管道11连接到设备主体上的各个仓室，控制设备主体上各个仓室的真空值，其中相对独立的所有仓室的真空度均为10^-4。

所述的溅镀仓室6、7、8、9内两侧设置有用来溅镀氧化锌透明导电膜的氧化锌旋转靶材13，每侧分别为两个。