[发明专利]以中间相炭微球为炭源的反应烧结碳化硅陶瓷的制备方法

权利要求书

1.以中间相炭微球为炭源的反应烧结碳化硅陶瓷制备方法，其特征在于， 包括如下步骤：

a.备料：选用中间相炭微球及碳化硅颗粒为原材料，采用无水乙醇作为介 质，玛瑙球作为混料球机械湿混12～48h，在空气中经10～24h烘干，最后将混 合料过200目筛；

b.成型：在室温下将混合料模压或等静压成型，成型压力50～100MPa；

c.预烧结：在石墨坩埚内平铺硅颗粒，将成型后的生坯平放于硅颗粒上， 然后置于热处理炉内，向炉内通氮气，同时以300～400℃/h的升温速度加热， 在1200～1350℃恒温0.5～1h；

d.熔融硅浸渍反应：继续以100～300℃/h的升温速度加热，当温度高于 1350℃时开始抽真空，1500～1700℃保温0.5～1h完成熔融硅浸渍、硅/炭反应， 保温过程中关闭真空泵；

e.降温：选择自然降温，降温开始后抽真空15min以排除炉内硅蒸气，最 后向炉内通入氮气保护。

2.根据权利要求1所述的以中间相炭微球为炭源的反应烧结碳化硅陶瓷制 备方法，其特征在于，所述碳化硅占原料质量百分数为10～40％。

3.根据权利要求1所述的以中间相炭微球为炭源的反应烧结碳化硅陶瓷制 备方法，其特征在于，所述硅颗粒与中间相炭微球质量比为3∶1～4∶1。