[发明专利]用于探针卡组件的探针头控制机构

权利要求书

1.一种探针卡组件包括：

第一探针头，其具有在各个面上设置的接触元件，用于与相应电子器件的相应端子形成电接触；

第二探针头，其具有在各个面上设置的接触元件，用于与相应电子器件的相应端子形成电接触；以及

控制机构，耦合到第一和第二探针头，用于控制使第一和第二探针头在与各个面基本平行的第一方向上的位移比在与各个面基本正交的第二方向上的位移更大。

2.根据权利要求1所述的探针卡组件，还包括：

第三探针头，其具有在各个面上设置的接触元件，用于与相应电子器件的相应端子形成电接触；

第四探针头，其具有在各个面上设置的接触元件，用于与相应电子器件的相应端子形成电接触，

其中，随着环境温度变化，第一、第二、第三和第四探针头的质心的各个中心相对于所述质心保持基本稳定。

3.根据权利要求1所述的探针卡组件，其中，束缚机构在第二方向比在第一方向更具有顺应性，以允许调节第一和第二探针头的平面性，并且无论接触元件是否与电子器件接触，都保持所述调整。

4.根据权利要求1所述的探针卡组件，其中，控制机构包括控制件，以及将控制件耦合到第一和第二探针头的耦合件。

5.根据权利要求4所述的探针卡组件，其中，控制件包括一个或多个臂，每个臂在其纵向方向上与第一和第二探针头的边界线平行地延伸。

6.根据权利要求4所述的探针卡组件，其中，控制件包括一个或多个跨接件，每一个跨接件越过第一和第二探针头的边界线延伸。

7.根据权利要求6所述的探针卡组件，其中，控制件包括连接所述臂的集中器。

8.根据权利要求7所述的探针卡组件，其中，控制件包括在臂相对于集中器的远端处连接臂的框架。

9.根据权利要求4所述的探针卡组件，其中，耦合件包括至少一个延长件，使得延长件被用于相对于第一和第二探针头限制控制件。

10.根据权利要求9所述的探针卡组件，其中，延伸件用于机械耦合到除了第一探针头和第二探针头之外的探针卡组件的元件，所述元件在第一方向上比在第二方向上具有更少的顺应性。

11.根据权利要求1所述的探针卡组件，其中，控制机构包括能够主动控制第一和第二探针头的致动器。

12.根据权利要求11所述的探针卡组件，其中，控制机构包括传感器，用于检测第一和第二探针头各个位置并产生指示位置的反馈信号以控制致动器。

13.一种用于探针卡组件的控制机构，包括：

控制件，其具有一个或多个跨接件，每个跨接件用于越过探针卡组件的两个相邻探针头的边界线延伸，并用于容纳能够通过跨接件将控制件机械耦合到探针头的耦合件，

其中，当控制件耦合到探针头时，控制件能够控制使探针头在与探针头各个面基本平行的第一方向上的位移比在与各个表基本正交的第二方向上的位移更大。

14.根据权利要求13所述的控制机构，其在第二方向上比在第一方向上更具有顺应性，以允许调节探针头的平面性。

15.根据权利要求13所述的控制机构，其中，控制件包括一个或多个臂，每个臂在其纵向方向上与探针头的边界线平行延伸。

16.根据权利要求15所述的控制机构，其中，控制件包括连接所述臂的集中器。

17.根据权利要求16所述的控制机构，其中，控制件包括框架，在臂相对于集中器的远端处连接臂。

18.一种制作电子器件的方法，包括：

提供探针卡组件，该探针卡组件包括：

具有在各个面上设置的接触元件的第一探针头；

具有在各个面上设置的接触元件的第二探针头；以及

耦合到第一和第二探针头的控制机构，用于控制使第一和第二探针头在与各个面基本平行的第一方向上的位移比在与各个面基本正交的第二方向上的位移更大；

在第一或第二探针头的各个接触元件与电子器件的端子之间形成电接触；以及

通过探针卡组件建立的电通道测试电子器件。

19.根据权利要求18所述的方法，还包括：

调整第一和第二探针头中至少一个的平面性。