[发明专利]声界面波装置的制造方法

权利要求书

1.一种声界面波装置的制造方法，该声界面波装置按顺序叠层有第 1～第4媒质、且第1媒质与第2媒质间的界面上设有电极，该声界面波 装置的制造方法，包括：

准备按顺序叠层有第1～第3媒质、并在第1媒质与第2媒质的界面 上设有电极的叠层体的叠层体准备工序；

在上述叠层体准备工序后，调整第3媒质的膜厚，来调整频率、或声 表面波的声速的调整工序；以及，

在上述调整工序后，形成声速及/或材料与第3媒质不同的第4媒质， 而所传送的弹性波变为声界面波的工序。

2.如权利要求1所述的声界面波装置的制造方法，其特征在于：

在设声界面波的波长为λ时，上述第4媒质的厚度大于0.5λ。

3.如权利要求1或2所述的声界面波装置的制造方法，其特征在于：

至少1个媒质，具有层积了多个材料层的层积构造。

4.如权利要求1或2所述的声界面波装置的制造方法，其特征在于：

使用从Au、Ag、Cu、Fe、Ta、W、Ti以及Pt所构成的群中选择出的 1种金属，作为上述电极材料。

5.如权利要求1或2所述的声界面波装置的制造方法，其特征在于：

上述媒质层，使用从铌酸锂、铌酸钾、钽酸锂、四硼酸锂、硅酸镓镧 或铌酸镓镧、水晶、PZT(锆钛酸铅陶瓷)、ZnO、AIN、氧化硅、玻璃、 硅、蓝宝石、氮化硅以及氮化碳所构成的群中所选择出的至少1种材料构 成。

6.如权利要求1或2所述的声界面波装置的制造方法，其特征在于：

上述电极，是用来构成声界面波共振子或声界面波滤波器的电极，得 到声界面波共振子或声界面波滤波器作为声界面波装置。