[发明专利]电致发光元件的制造方法无效
申请号: | 200910222857.7 | 申请日: | 2003-08-05 |
公开(公告)号: | CN101714615A | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
发明(设计)人: | 青木大吾 | 申请(专利权)人: | 大日本印刷株式会社 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/50 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电致发光 元件 制造 方法 | ||
本申请是大日本印刷株式会社于2003年8月5日提交的申请号为“031526756”、发明名称为“电致发光元件的制造方法”的申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及一种采用由于伴随能量照射的光催化剂作用而特性变化的层进行有机电致发光(以下,有的将电致发光缩写为EL)层的图形形成的EL元件制造方法,涉及不受光催化剂影响的EL元件制造方法。
背景技术
EL元件是一种从对置的电极注入的空穴及电子在发光层内结合,并以其能量激发发光层中的荧光物质,从而进行对应于荧光物质的颜色的发光的元件,作为自发光的平面状显示元件引人注目。其中,以有机物质作为发光材料的有机薄膜EL显示器,即使在外加电压为不足10V时,也能实现高效率高亮度发光等,并且能够以简单的元件结构发光,人们期待着应用于发光显示特定图形的广告等低价格简易显示器中。
在制造采用这种EL元件的显示器时,通常进行有机EL层等的图形形成。作为这样的EL元件的图形形成方法,提出了有借助遮光板蒸镀发光材料的方法、利用喷墨涂敷法、利用紫外线照射破坏特定发光色素的方法、丝网印刷等各种图形形成方法,但也提出了采用可容易形成致密图形形成的光催化剂的方法。
采用该光催化剂的EL元件的制造方法,是在能量照射包含光催化剂的层时,通过照射时光催化剂的作用,利用含光催化剂的层的润湿性变化的方法。即,通过利用基于该润湿性差异的图形,使有机EL层形成图形形状。如此利用光催化剂的EL元件的制造方法,由于只通过能量照射就能够形成基于该润湿性差异的图形,因此可大大省略图形形成有机EL层所需的工时,是一种有用的方法。
但是,在采用这样的光催化剂制造EL元件的方法中,含有光催化剂的层,由于包含在EL元件的构成中,并由于内部所含的光催化剂的半永久作用,存在EL元件可能受光催化剂影响的问题。
发明内容
本发明是针对上述问题而提出的,目的是提供一种容易图形形成有机EL层并且受光催化剂影响小的EL元件的制造方法。
为达到上述目的,在本发明的要求保护范围1中提供了一种EL元件的制造方法,其特征在于,至少包括如下工序:分解除去层形成工序,准备电极层,通过在上述电极层上或在上述电极层上成膜的电荷注入输送层上能量照射时的光催化剂的作用分解除去,形成与液体的接触角不同于上述电极层或上述电荷注入输送层的分解除去层;分解除去层图形形成工序,采用在基板上形成了包含光催化剂的光催化剂处理层的光催化剂处理层基板,以200μm以下的间隙配置上述光催化剂处理层及上述分解除去层后,从规定方向图形照射能量,以便使能量照射在分解除去上述分解除去层的区域,将上述分解除去层形成图形形状;从上述分解除去层取下上述光催化剂处理层的取下工序;有机EL层形成工序,按照上述分解除去层的图形,在电极层上或电荷注入输送层上形成有机EL层。
在本发明中,借助包含光催化剂的光催化剂处理层,通过照射能量,将利用照射能量时的光催化剂的作用分解除去的分解除去层形成为图形形状,此外,由于上述分解除去层与液体的接触角不同于在电极层上形成时的该电极层或形成在电荷注入输送层上时的电荷注入输送层,所以通过利用它们润湿性的差异,不需要特别繁杂的工时就能够在对应于分解除去层图形的图形上形成有机EL层。此外,在图形形成分解除去层后,由于从分解除去层取下光催化剂处理层,所以EL元件本身不含光催化剂处理层,因此,具有不用担心光催化剂处理层中光催化剂所产生影响的优点。
在上述要求保护范围1中记载的发明中,如本发明的要求保护范围2所述,上述分解除去层最好是自身组织化单分子膜、L-B膜(Langmuir-Blodgett Film)或交互吸附膜中的任何一种。因为通过由这样的材料形成分解除去层,能够形成可利用光催化剂作用而分解的强度比较高的薄膜。此外,因为通过选择薄膜的材质,能够与在分解除去分解除去层时露出的电极层或电荷注入输送层形成良好的润湿性差。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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H01L51-54 .. 材料选择