[发明专利]放电灯

说明书

技术领域

本发明涉及放电灯。尤其是涉及用作投影曝光装置、光化学反应装置等的光源的短弧型放电灯。

背景技术

自以往以来，公知有各种放电灯，但发光管内封入水银的放电灯具有释放出波长为365nm的i线或波长为436nm的g线的发光特性，因此用作例如半导体晶片、液晶基板等曝光处理所使用的曝光装置用光源。

在大电流用的放电灯中，作为发光气体的主成分的水银的封入量多，在点灯时，发光管内部会形成高压，而且发热量大，因此，尤其侧管或其内部的玻璃必须耐热性及耐压性较大。而且，在点灯中，发光管内的水银必须完全蒸发，因此在点灯中的发光管内，必须不具有会产生水银凝聚的较低温度部分。

由此，在大电流用的放电灯中，通过将形成发光管的玻璃直接焊接在供电用的引线棒，由此采用利用封着用金属箔的箔密封构造而非采用达成发光管的气密密封的所谓的杆密封构造。此外，为了对电极供给大电流，流过金属箔或导通金属箔与电极的构件的电流量也较大，因此采用盘状的金属板来作为导通金属箔与电极的构件。

图4是表示具有箔密封构造的放电灯的一部分的说明图。

如日本特开2007-115498号公报所示，放电灯具有在发光管2连设有密封管3的放电容器1，且在发光管3的内部配置有电极4。在密封部3的内部配置有玻璃构件11及金属箔7、金属板61、62、电极引线棒5、外部引线棒8、保持用筒体12，保持配置在发光管2内部的电极4，并且使放电灯的外部与电极4电导通。

例如5片的带状金属箔7以在轴方向延伸的方式在圆柱状的玻璃构件11的外周面彼此分离配置。上述金属箔7的前端部与插通有电极引线棒5而配置的金属板61连接。另一方面，金属箔7的后端部与插通有外部引线棒8的金属板62连接。接着，在电极引线棒5的外周配置有玻璃制的保持用筒体12，在玻璃构件11的后端隔着金属板62配置有玻璃制的保持用筒体12。

电极引线棒5与金属板61通过填充材料而接合，可确保接触面积，将被供给至金属板61的电力高效率地传达至电极引线棒5。外部引线棒8与金属板62均同样地通过填充材料连接。对于填充材料，要求承受约1600℃的玻璃加工温度，与形成电极引线棒5或外部引线棒8的钨(W)和形成金属板61、62的钼(Mo)的润湿性佳、蒸气压低、且不会与其他封入物起反应。使用满足上述要求项目的材料的锆(Zr)、铂(Pt)、铑(Rh)来作为填充材料。

专利文献1日本特开2007-115498号公报

发明内容

图5是放大表示金属板61与电极引线棒5的接合部分的放大剖视图。

作为电极引线棒5的材料的钨(W)与作为金属板61的材料的钼(Mo)是难切削材料，因此电极引线棒5的轴径与金属板61的贯穿孔63的直径取某一程度的公差，在相互嵌合时存在余裕。因此，填充材料9不均匀地流入电极引线棒5与金属板61之间并凝固时，金属板61会偏移，金属板61的中心会与电极引线棒5的轴中心不一致。

如果金属板61的中心偏移，玻璃构件11的外周面与金属板61的外围未平顺地相连，而会产生高低差。在轴方向上在玻璃构件11的外周面延伸而与金属板61的外围相连接的金属箔7会因高度差而施加多余的力，金属箔7变得容易切断。

本发明为了解决上述问题，目的在于提供一种可使金属板的中心与引线棒的轴中心一致，且通过填充材料来接合金属板与引线棒的放电灯。

本申请的第1发明是一种放电灯，具有：具有发光管及在其两端连续向外方延伸的密封管的放电容器；配置在上述密封管内部的玻璃构件；接续上述玻璃构件的端面配置的金属板；配设在上述玻璃构件的外周面、与上述金属板连接的金属箔；向上述放电容器的外方或上述发光管延伸的引线棒；以及形成在向上述发光管延伸的引线棒的前端、在上述发光管内部彼此相对配置的电极，其特征为：上述金属板具有锥孔的贯穿孔，在上述锥孔的贯穿孔插入有形成有锥部的引线棒，上述锥孔的贯穿孔与上述锥部嵌合，通过填充材料而接合。

此外，本申请的第2发明是在本申请的第1发明中，上述金属板的贯穿孔形成有一端面扩开而设的凹部，形成贯穿孔与引线棒的缝隙扩展的填充材料积存部。

此外，本申请的第3发明是在本申请的第1发明中，通过在上述引线棒上设置凹处而形成凹部，作为填充材料积存部。

此外，本申请的第4发明是在本申请的第1发明中，上述金属板的贯穿孔的锥角的角度为1°以上、30°以下。

此外，本申请的第5发明是在本申请的第1发明中，上述引线棒的锥部的锥角的角度为1°以上、30°以下。