[发明专利]应用用户界面控制半导体制造装置的系统与方法

权利要求书

1.一种控制半导体制造装置的系统，包括：

多个菜单对话框，用于控制、监测及管理半导体制造装置；

导航控制器，用于激活导航菜单，并以历史顺序记录与管理用户访问的菜 单对话框；所述导航菜单，用于以历史顺序显示所述用户访问的菜单对话框；和

显示驱动器，用于在屏幕中显示所述导航菜单；

所述导航控制器互不相同地显示与无修改数据的菜单对话框相对应的菜单 条、及与带有修改数据的菜单对话框相对应的菜单条，所述两种菜单条包含在 所述导航菜单中。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述导航菜单以菜单条的样式显示。

3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述导航菜单置于屏幕的上部区域， 并且顺序地提供分别与用户访问的菜单对话框相对应的菜单条。

4.根据权利要求3所述的系统，还包括数据缓冲器，用于储存用户访问的 所述菜单对话框中修改的数据。

5.根据权利要求4所述的系统，其中，如果从当前访问的菜单对话框切换 到另一个菜单对话框而未保存所述修改数据时，所述导航控制器将所述修改数 据存储到所述数据缓冲器中。

6.根据权利要求5所述的系统，其中，如果从当前访问的菜单对话框切换 到另一个菜单对话框而未保存所述修改数据时，所述导航控制器在菜单切换之 前自动将所述修改数据储存到所述数据缓冲器中。

7.根据权利要求1所述的系统，还包括数据存储器，用来储存用于在屏幕 中显示的菜单对话框与导航菜单的数据。

8.根据权利要求7所述的系统，还包括用户界面数据处理器，用于从所述 数据存储器中读取屏幕显示数据。

9.根据权利要求8所述的系统，其中，如果用户选择了其中一个菜单对话 框，所述导航控制器向所述用户界面数据处理器发送请求信号，以请求获取在 屏幕中显示的菜单对话框的数据；且

所述用户界面数据处理器响应所述请求信号，从所述数据存储器中读取屏 幕显示数据，并将所读取的屏幕显示数据提供给所述导航控制器。

10.根据权利要求1所述的系统，其中，所述显示驱动器在屏幕的上部区 域显示当前访问的菜单对话框与所述导航菜单。

11.根据权利要求1所述的系统，所述系统包括下位控制器，所述下位控 制器与半导体制造装置相连；还包括上位控制器，所述上位控制器与所述下位 控制器相连，

其中，所述上位控制器与所述下位控制器中的至少一个包含用户界面应用 程序。

12.根据权利要求11所述的系统，其中，所述下位控制器包括客户工具控 制器，所述客户工具控制器通过内部网络连接到所述半导体制造装置。

13.根据权利要求12所述的系统，其中，所述上位控制器包括主机，所述 主机通过外部网络连接到半导体制造装置，以对所述半导体制造装置进行远程 控制。

14.一种控制半导体制造装置的方法，包括：

加载含有菜单的用户界面，所述菜单用于对半导体制造装置进行控制、监 测与管理；

显示屏幕，用于选择其中的一个菜单；且

显示导航菜单，用于将所选菜单以历史顺序记录在屏幕上；

所述显示导航菜单包括：互不相同地显示与所选菜单中的包括用户修改数 据的菜单相对应的菜单条、以及与不带修改数据的菜单相对应的菜单条。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述显示导航菜单包括：

将所述导航菜单设置在屏幕的上部区域；和

以菜单条的样式显示所述导航菜单，所述菜单条分别对应用户选择的菜单。

16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述显示导航菜单包括：

当从当前访问的菜单切换到与用户选择的任一菜单相对应的其它菜单时， 在所述导航菜单中记录与显示新的菜单条。