[发明专利]应用用户界面控制半导体制造装置的系统与方法

说明书

相关申请的交叉引用

根据35U.S.C§119的规定，本美国非临时专利申请要求于2008年11月27 日提交的申请号为10-2008-0118516的韩国专利申请的优先权，其全部内容通 过引用合并于此。

技术背景

在此公开的本发明涉及控制系统，尤其涉及使用用户界面进行半导体制造 装置的控制、监测与管理的系统与方法。

一般而言，生产半导体产品需要很多步加工工序。为了控制这些加工工序， 就需要在生产线上构建各种半导体制造装置。为了控制各种加工工序，半导体 制造装置拥有一套通过网络连接的控制系统。举例来说，控制系统包括可编程 逻辑控制器或计算机，该控制系统设置一套工艺制程，包括工艺条件与工艺流 程，用来控制半导体制造装置。该控制系统监控工艺规程控制的各部分，以管 理与工艺相关的信息。根据制造工艺，半导体制造装置包括多种的组件。一般 来说，半导体制造装置包括加工基板用的加工单元，与运输基板用的运输单元。

半导体制造装置的控制系统通过网络传输数据来控制、监测与管理该半导 体制造装置的各加工工序。

为此目的，控制系统拥有一套控制程序，该控制程序使用用户界面实现对 半导体制造设备的控制、监测与管理。其中用户界面内含有多种必要的菜单以 对各个单元的工艺规程进行设置、监测与操作。例如，每台半导体制造设备都 设有上百个菜单，使用者可以应用这些菜单，并根据半导体制造装置的加工过 程控制、监测与分析信息。在载入模式下，用户界面可以向最初主屏幕载入许 多可操作菜单屏幕。在菜单选择模式下，用户界面在所选菜单屏幕的上部区域 显示多种的信息与子菜单。

在菜单选择模式下，如果用户修改的数据存在于上级屏幕中，因为从上级 屏幕到选择屏幕做了切换，所以这些修改的数据就会丢失。例如，当有多个界 面与创建数据相关时，为了查明与本数据相关的其它数据，在数据创建完成之 前如果从第一界面切换到另一界面时，数据就会在创建状态下丢失。在这种情 况下，使用者会感到很麻烦，因为不得不重新创建数据。而且无论何时选择屏 幕时由于用户界面获得、处理与菜单有关的数据，屏幕就被刷新。在这种情况 下，屏幕就会切换而没有保存编辑或修改状态下的数据。

同样，如果用户已经通过用户界面访问多个菜单，即使当用户希望重新访 问已访问的菜单时，也必须通过几步菜单选择步骤重新选择希望访问的菜单位 置，以选择菜单。因此，用户会感到很不方便，由于不得不重复相同的操作以 重新访问已访问的菜单。

发明内容

本发明实施例，提供了使用用户界面控制半导体制造装置的系统与方法。

本发明实施例，还提供了控制半导体制造装置的系统与方法，该系统与方 法可以通过导航菜单以历史顺序显示用户访问的菜单、从而方便地控制对各种 菜单的访问。

本发明实施例，还提供了控制半导体制造装置的系统与方法，该系统与方 法可以使用用户界面以防止屏幕切换中数据丢失。

本发明的控制系统使用用户界面控制、监测与管理半导体制造装置。该控 制系统提供了基于用户界面的导航菜单，从而便于在用户访问的菜单间切换。

本发明的部分实施例中，控制半导体制造装置的系统包括：多个菜单对话， 用于控制、监测及管理半导体制造装置。导航菜单，用于显示用户访问的菜单 对话。导航控制器，用于激活导航菜单、记录与管理该导航菜单。还包括显示 控制器，用于在界面中显示导航菜单。

其它的实施例中，导航菜单以菜单条的样式显示；

另外的实施例中，导航菜单放置于界面的上边区域，并且按顺序提供分别 与所述用户访问菜单对话相对应的菜单条。

在另外的实施例中，所述系统还包括数据缓冲器，用于储存用户访问的菜 单对话框中修改的数据。

在另外的实施例中，如果从当前访问菜单对话框切换到另一个菜单对话框 而未保存所述修改数据时，所述导航控制器将所述修改数据存储到所述数据缓 冲器中。

在另外的实施例中，如果从当前访问菜单对话框切换到另一个菜单对话框 而未保存修改数据时，所述导航控制器在菜单切换之前自动将所述修改数据储 存到所述数据缓冲器中。

在另外的实施例中，所述导航控制器互不相同地显示与无修改数据的菜单 对话框相对应的菜单条、及与带有修改数据菜单对话框相对应的菜单条，所述 两种菜单条包含在所述导航菜单中。