[发明专利]双Y型腔双频激光加速度计

权利要求书

1.一种双Y型腔双频激光加速度计，由光学模块(18)、工作 点选择与控制模块(17)和信号采集与处理模块(16)组成，其特征 在于光学模块由气体膜盒(2)和两支对称的Y型腔双频激光器(1) 组成，Y型腔双频激光器由高反率镜片(3，8，9)、共用腔(11)、 第一非共用腔(7)、第二非共用腔(10)、偏振分光膜(6)组成；共 用腔(11)和第二非共用腔(10)一体化加工完成，它们与第一非共 用腔(7)以光胶的方式固连在一起；偏振分光膜(6)镀制在第一非 共用腔(7)的一个端面上，三个高反射率镜片(3，8，9)以光胶的 方式分别贴在共用腔(11)的端面上、第一非共用腔(7)的另一个 端面上和第二非共用腔(10)的端面上，从而形成激光器的谐振腔； 共用腔(11)中充有氦氖气体作为激光器的增益介质；两支Y型腔双 频激光器(1)的第二非共用腔(10)与气体膜盒(2)分别由通气孔 (12，13)相连通，两支Y型腔双频激光器(1)与气体膜盒(2) 之间采用光胶或粘连的方式固连，利用气体膜盒作为第一级加速度敏 感元件，将输入的加速度变化转化为气体膜盒内传感气体的折射率变 化，进而转化为Y型腔双频激光器的拍频输出，再利用双Y型腔结 构，将两支Y型腔双频激光器的拍频差动，得到加速度计系统的最 终输出信号。

2.根据权利要求1所述的一种双Y型腔双频激光加速度计，其 特征在于气体膜盒(2)由两个膜盒盒体(15)和一个超薄膜片(14) 组成，两个膜盒盒体(15)与超薄膜片(14)对称地以光胶或粘连的 方式固连在一起。

3.根据权利要求2所述的一种双Y型腔双频激光加速度计，其 特征在于气体膜盒(2)的被超薄膜片(14)密闭的两个膜盒盒体(15) 中均充有相同压强的传感气体，传感气体包括氮气、二氧化碳和氙气。

4.根据权利要求3所述的一种双Y型腔双频激光加速度计，其 特征在于两个膜盒盒体均为扁平状皿，两个膜盒盒体上均开有通气孔 (13)，两个膜盒盒体(15)的底面均是圆形或矩形。

5.根据权利要求3所述的一种双Y型腔双频激光加速度计，其 特征在于膜盒盒体(15)的材料是微晶玻璃，超薄膜片(14)的材料 是石英玻璃。

6.根据权利要求1所述的一种双Y型腔双频激光加速度计，其 特征在于Y型腔双频激光器(1)利用偏振分光膜将S光和P光在空 间上分开，从而形成两个非共用腔(7，10)，两个非共用腔(7，10) 与共用腔11的位置关系为“Y”型或具有“Y”型分叉结构的其它形 状。

7.根据权利要求1或权利要求6所述的一种双Y型腔双频激光 加速度计，其特征在于Y型腔双频激光器(1)利用S光和P光在两 个非共用腔中的光程差产生这两个偏振光的频率差，从而形成频率分 裂。

8.根据权利要求1所述的一种双Y型腔双频激光加速度计，其 特征在于工作点选择与控制模块(17)用于选择Y型腔双频激光器 的工作点，并采用光强差方法稳频。