[发明专利]增加太阳能锗衬底片强度的腐蚀方法

权利要求书

1.一种增加太阳能锗衬底片强度的腐蚀方法，其特征在于，

腐蚀药配置：

腐蚀1#药液：

HF+H₂O(纯水)＝150ml+1200ml；

取1200ml纯水放入腐蚀槽中，再量取150ml HF倒入腐蚀槽中；

腐蚀2#药液：

CH3COOH+Br₂+HNO₃＝150ml+3ml+250ml；

量取150ml CH3COOH滴入3ml Br₂，待Br₂溶解后，加入250ml HNO₃：

腐蚀：

(1)1#液腐蚀

取一盒研磨过的锗衬底片，用纯水冲淋后，将片架水平放入腐蚀槽内，片架内锗衬底片的部分要全部浸入1#腐蚀液中，并轻轻将其水平晃动；

第一次腐蚀为10秒左右，10秒后取出片架，用纯水冲淋，再放入清洗槽中；取出一片量其厚度，根据腐蚀的厚度决定下一次腐蚀时间；

(2)2#液腐蚀

每次腐蚀10片左右，

腐蚀时间为20～30秒左右，20～30秒后取出片架，用纯水冲淋，再放入清洗槽中；取出一片擦干后测其厚度，如达到要求厚度则用大量纯水冲洗片子，甩干后检查，合格后进入下一道工艺。

2.根据权利要求1所述的锗衬底片腐蚀方法，其特征在于，

1#腐蚀液腐蚀掉的厚度最少为3μm，且1#腐蚀液寿命不超过500pcs。

3.根据权利要求1所述的锗衬底片腐蚀方法，其特征在于，

2#腐蚀液寿命为400pcs左右，腐蚀掉厚度8～12μm左右。