[发明专利]一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构有效
| 申请号： | 200910237659.8 | 申请日： | 2009-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101702051A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | 赵立新;胡松;王建;邢薇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光刻 物镜 中的 镜片 倾斜 微调 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，其特征在于：所述的镜片倾斜微调机构 安装在镜片框(7)上，所述镜片倾斜微调机构包括调节螺栓座(1)、调节螺栓(2)、传动 弹簧(3)、传动杠杆(4)和镜片保护夹(5)；调节螺栓(2)被固定在位于镜片框(7)上 端的调节螺栓座(1)上，调节螺栓(2)的前端为锥型，传动弹簧(3)的上端套在调节螺 栓(2)的前锥端，传动弹簧(3)的下端挂在传动杠杆(4)上，传动杠杆(4)的后端被固 定在镜片框(7)上，传动杠杆(4)的前端顶在位于镜片(6)边缘的镜片保护夹(5)的下 方。
2.根据权利要求1所述的一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，其特征在于：所 述的镜片保护夹(5)为弹性物质。
3.根据权利要求1所述的一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，其特征在于：所 述的传动弹簧(3)被安装在镜片框(7)上与物镜光轴心平行的一圆孔(8)内。
4.根据权利要求1所述的一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，其特征在于：所 述的镜片倾斜微调机构为3个，安装在镜片框(7)上在360°内以120°等分均匀放置。
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