[发明专利]一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构。

技术背景

由于投影光刻物镜是由多个镜片组成，又它的像质已接近衍射极限，因而镜片的细微倾 斜度的变化都会对像质产生不良影响，这使现场像质微量可调功能显得十分必要。物镜具备 微调功能后，可以保证其长期稳定工作。目前，国内市场上光刻机的投影物镜均无镜片倾斜 微调机构，无法解决镜片倾斜带来的像质改变。

发明内容

本发明的技术解决问题是：为了克服因细微的镜片倾斜变化对像质产生的不良影响，提 供一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，使得现场像质微量调整成为可能，提高各透镜 对光轴的装调精度，保证了投影光刻物镜长期稳定可靠的工作，提供高质量的像质。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机 构，所述的镜片倾斜微调机构安装在镜片框上，它包括调节螺栓座、调节螺栓、传动弹簧、 传动杠杆、镜片保护夹；调节螺栓被固定在位于镜片框上端的调节螺栓座上，调节螺栓的前 端为锥型，传动弹簧的上端套在调节螺栓的前锥端，传动弹簧的下端挂在传动杠杆上，传动 杠杆的后端被固定在镜片框上，传动杠杆的前端顶在位于镜片边缘的镜片保护夹的下方。

本发明的有益效果是，当投影光刻物镜因环境及内部元件细微的变化对像质产生不良影 响时，本发明通过调整镜片框上的调节螺栓，使螺栓带动传动弹簧做伸长和缩短运动，同时 弹簧又使顶在镜片边缘下方传动杠杆做上下运动，从而使镜片倾斜，提高了各透镜对光轴的 倾斜装调精度，保证了投影光刻物镜长期稳定可靠的工作，提高了成像质量；并且本发明具 有机构简单、安装调整方便、经济、安全、可靠等优点。

附图说明

图1为本发明的系统原理图；

图2为本发明的在镜片框中的安装示意图；

图3为本发明的装配示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明由调节螺栓座1、调节螺栓2、传动弹簧3、传动杠杆4、镜片保护 夹5组成。此倾斜微调机构被安装在镜片框7上。调节螺栓2被固定在镜片框上端的调节螺 栓座1上，调节螺栓2的前端为锥型；传动弹簧3的上端套在调节螺栓2的前锥端，传动弹 簧3的下端挂在传动杠杆4上，传动杠杆4的后端被固定在镜片框7上，传动杠杆4的前端 顶在镜片6边缘的镜片保护夹5的下方。在安装过程中当投影光刻物镜因镜片的细微的倾斜 变化对像质产生不良影响时，可旋转调节螺栓2向前和向后位移，使挂在其锥端的传动弹簧 3因其锥面而做上、下伸长和缩短运动，同时传动弹簧3又使顶在镜片6边缘的镜片保护夹 5下方的传动杠杆4做上下运动，最终使得镜片6做不同角度的倾斜，提高了各透镜对轴心 的装调精度，克服了因镜片倾斜对投影光刻物镜像质的影响，提高了成像质量。

本发明中的镜片保护夹5为弹性物质，如弹性硅胶等，以减缓镜片6受力点的压力，防 止镜片6因受力产生应力变形。

传动弹簧3被安装在镜片框7上与物镜光轴心平行的一圆孔8内，保证传动弹簧3在受 力时的上、下运动。

如图2所述，镜片框7上在360°内以120°等分均匀放置有3个镜片倾斜微调机构， 但不限于3个，可根据具体情况在镜片框上放置多个镜片倾斜微调机构以便调整。其目的是 可根据具体情况从多个方向对镜片进行调整，保证透镜对光轴心的装调精度。

总之，本发明能够分别对投影光刻物镜中的各个镜片进行精确的倾斜调整，以达到镜片倾斜 公差的要求，提高了各镜片的装调精度，克服了因镜片倾斜对像质产生的不良影响，保证了 光刻质量。