[发明专利]生产线设备载板数量的配置方法及装置

权利要求书

1.一种生产线设备载板数量的配置方法，其特征在于，包括：

基于当前载板数量，统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin，并依据该比例确定最大配置的载板数量；所述最大配置的载板数量小于或等于当前工艺所限定载板数量的最大值；

基于所述最大配置的载板数量，统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin，以及，当前处理模块等待载板传出的实际时间占预置时间的比例Pout，并依据比例Pin和Pout确定最佳配置的载板数量，所述最佳配置的载板数量小于或等于所述最大配置的载板数量。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定最大配置载板数量的步骤包括：

子步骤S11、基于当前载板数量统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin1；

子步骤S12、若当前载板数量未达到当前工艺所限定载板数量的最大值，则相应增加载板数量；

子步骤S13、基于增加后的载板数量统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin2；

子步骤S14、比较所述比例Pin1和Pin2，若Pin2＜Pin1，则将比例Pin2赋给Pin1，返回步骤S12；若Pin2≥Pin1，则执行步骤S15；

子步骤S15、确定当前载板数量为最大配置的载板数量。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述确定最佳配置载板数量的步骤包括：

子步骤S21、基于所述最大配置的载板数量统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin1，以及，当前处理模块等待载板传出的实际时间占预置时间的比例Pout1；

子步骤S22、若当前载板数量大于1，则相应减少载板数量；

子步骤S23、基于减少后的载板数量统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin2，以及，当前处理模块等待载板传出的实际时间占预置时间的比例Pout2；

子步骤S24、分别比较所述比例Pin1和Pin2，Pout1和Pout2，若Pout2＜Pout1，则将比例Pout2赋给Pout1，返回步骤S22；若Pout2≥Pout1，则执行步骤S25；若Pin2＞Pin1，则相应增加载板数量后，执行步骤S25；若Pin2≤Pin1，则将比例Pin2赋给Pin1，返回步骤S22；

子步骤S25、确定当前载板数量为最佳配置的载板数量。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定最佳配置载板数量的步骤包括：

子步骤S31、基于所述最大配置的载板数量统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin1，以及，当前处理模块等待载板传出的实际时间占预置时间的比例Pout1；

子步骤S32、计算所述比例Pin1和Pout1之和T1；

子步骤S33、若当前载板数量大于1，则相应减少载板数量；

子步骤S34、基于减少后的载板数量统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin2，以及，当前处理模块等待载板传出的实际时间占预置时间的比例Pout2；

子步骤S35、计算所述比例Pin2和Pout2之和T2；

子步骤S36、比较所述比例和T1和T2，若T1＞T2，则相应增加载板数量后，执行步骤S37；若T1≤T2，则将比例和T2赋给T1，返回步骤S33；

子步骤S37、确定当前载板数量为最佳配置的载板数量。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述确定最大配置载板数量的步骤还包括：

子步骤S16、若当前载板数量达到当前工艺所限定载板数量的最大值，则确定该最大值为最大配置的载板数量。

6.如权利要求2、3或4所述的方法，其特征在于，所述相应增加的载板数量为1块，相应减少的载板数量为1块。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述生产线设备为太阳能电池制造设备PECVD，所述当前处理模块为反应腔。