[发明专利]生产线设备载板数量的配置方法及装置有效

专利信息
申请号: 200910238730.4 申请日: 2009-11-23
公开(公告)号: CN101876066A 公开(公告)日: 2010-11-03
发明(设计)人: 易璨 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/54
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 苏培华
地址: 100016 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 生产线 设备 数量 配置 方法 装置
【说明书】:

技术领域

发明涉及生产线设备技术领域,特别是涉及一种生产线设备载板数量的配置方法及一种生产线设备载板数量的配置装置。

背景技术

生产线设备是现代生活中完成各类产品生产、制造或工艺过程不可缺少的硬件设备,为尽可能提高产量及效率,对于生产线设备均配置有相应的控制系统以控制生产线设备的运行。如在太阳能电池制造设备等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中,多采用In-line(线型)的硬件结构及在线型镀膜技术(In-line PECVD)来达到高效率、高产量的目的。

对于生产线设备,尤其是PECVD设备来说,一个评价运行效率的关键指标就是产率,现有技术中通常采用增加载板数量的方法,让设备中的各个腔室更大负荷地工作,以达到提高产率目的。但是在实际应用中,如果载板数量配置过多,有可能出现前一个腔室的载板已完成当前工艺需要传出到下一个腔室,但下一个腔室中的载板由于数量过多,还没有完成其当前工艺的情况而无法接收载板传入的情形,这样反而会降低生产线设备的产率;但是,如果载板数量配置过少,则会使生产线设备耗费较多空闲资源,同样严重影响产率。因此,载板数量配置的合理性对提高产率而言尤为重要。

现有技术中一般采用人工配置载板的方法,即相关技术人员会根据实际情况,基于生产线设备运行的各个工艺流程所需要的时间步步推演,以得出最大产率的情况下,一台设备最佳的载板数量,然后配备给设备。显然,这个推演过程极其复杂,特别是多个载板同时运转时,推演的复杂度更高;再者,随着生产线设备使用时间地增长或者为适应工艺需要,在一些工艺流程上所耗费的时间或者在某个腔室的工艺时间可能会发生变化,这就导致事先推演得出的载板数量不再合理,需要重新进行推演。

因此,目前需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是:如何能够创新地提出一种生产线设备载板数量的配置机制,以简单易行的方式依据生产线设备的实际情况动态配置载板数量,从而保证载板数量配置的合理性。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种生产线设备载板数量的配置方法及系统,用以尽可能客观地捕捉生产线设备的实际情况,并节省系统资源。

为了解决上述技术问题,本发明实施例公开了一种生产线设备载板数量的配置方法,包括:

基于当前载板数量,统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin,并依据该比例确定最大配置的载板数量;所述最大配置的载板数量小于或等于当前工艺所限定载板数量的最大值;

基于所述最大配置的载板数量,统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin,以及,当前处理模块等待载板传出的实际时间占预置时间的比例Pout,并依据比例Pin和Pout确定最佳配置的载板数量,所述最佳配置的载板数量小于或等于所述最大配置的载板数量。

优选的,所述确定最大配置载板数量的步骤包括:

子步骤S11、基于当前载板数量统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin1;

子步骤S12、若当前载板数量未达到当前工艺所限定载板数量的最大值,则相应增加载板数量;

子步骤S13、基于增加后的载板数量统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin2;

子步骤S14、比较所述比例Pin1和Pin2,若Pin2<Pin1,则将比例Pin2赋给Pin1,返回步骤S12;若Pin2≥Pin1,则执行步骤S15;

子步骤S15、确定当前载板数量为最大配置的载板数量。

优选的,所述确定最佳配置载板数量的步骤包括:

子步骤S21、基于所述最大配置的载板数量统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin1,以及,当前处理模块等待载板传出的实际时间占预置时间的比例Pout1;

子步骤S22、若当前载板数量大于1,则相应减少载板数量;

子步骤S23、基于减少后的载板数量统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin2,以及,当前处理模块等待载板传出的实际时间占预置时间的比例Pout2;

子步骤S24、分别比较所述比例Pin1和Pin2,Pout1和Pout2,若Pout2<Pout1,则将比例Pout2赋给Pout1,返回步骤S22;若Pout2≥Pout1,则执行步骤S25;若Pin2>Pin1,则相应增加载板数量后,执行步骤S25;若Pin2≤Pin1,则将比例Pin2赋给Pin1,返回步骤S22;

子步骤S25、确定当前载板数量为最佳配置的载板数量。

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