[发明专利]一种消色差位相延迟器

权利要求书

1.一种消色差位相延迟器，其特征在于：它包括两片以上级联的亚波长光栅， 每一片所述亚波长光栅在一基底的表面上周期性地刻蚀有若干平行的沟槽，第i 块所述亚波长光栅相邻两所述沟槽之间的距离为d_i，相邻两所述沟槽之间的背脊 宽度与相邻两所述沟槽间距离的比值为f_i，每一所述沟槽的刻蚀深度为h_i，光栅 矢量方向垂直于所述亚波长光栅的栅条方向，且所述光栅矢量方向与所述亚波长 光栅上x轴正方向的夹角为所述亚波长光栅的快轴方向角θ_i；

所述级联的亚波长光栅针对中、远红外双波段内各波长的实际位相延迟 α_λ(d_i，h_i，θ_i，f_i)与目标位相延迟之间的函数关系为：

∑λ|αλ(di,hi,θi,fi)-α‾|=Min]]>

上式中，Min是指所述级联的亚波长光栅针对中、远红外双波段内各波长的实 际位相延迟与目标位相延迟之差的和为最小值。

2.如权利要求1所述的一种消色差位相延迟器，其特征在于：所述光栅的数 目为4片，且对于第一片所述亚波长光栅，所述距离d₁＝0.30μm，所述比值f₁＝0.50， 所述刻蚀深度h₁＝3.02μm，所述快轴方向角θ₁＝39.07°；对于第二片所述亚波长光 栅，所述距离d₂＝0.30μm，所述比值f₂＝0.50，所述刻蚀深度h₂＝2.08μm，所述快 轴方向角θ₂＝-20.52°；对于第三片所述亚波长光栅，所述距离d₃＝0.30μm，所述 比值f₃＝0.50，所述刻蚀深度h₃＝2.19μm，所述快轴方向角θ₃＝-52.17°；对于第 四片所述亚波长光栅，所述距离d₄＝0.30μm，所述比值f₄＝0.50，所述刻蚀深度 h₄＝1.97μm，所述快轴方向角θ₄＝88.26°。