[发明专利]CIS电路测试探针卡

权利要求书

1.一种CIS电路测试探针卡，其特征在于其包含：

一基板，该基板具有至少一孔洞以及至少一探针，每一该探针设置于相对应的该孔洞附近；以及

一光学组件，该光学组件设置于该基板的邻近区域，该光学组件在一光线投射至该基板前，准直该光线。

2.根据权利要求1所述的CIS电路测试探针卡，其特征在于其中所述的光学组件具有一朝向该光线的光源的第一凸面以及一朝向该基板的第二凸面。

3.根据权利要求1所述的CIS电路测试探针卡，其特征在于其中所述的光线投射至该基板的截面积大于该至少一孔洞的截面积。

4.根据权利要求1所述的CIS电路测试探针卡，其特征在于其中所述的光学组件直接接触该基板，使得被准直的该光线藉由该光学组件而传导，且该光线立刻进入该至少一孔洞。

5.一种CIS电路测试探针卡，其特征在于其包含：

一基板，该基板具有多个孔洞以及多个探针，每一该探针设置于相对应的该孔洞附近，其中，该些孔洞与该些探针的几何配置是根据一待测晶圆的几何配置而设置，该晶圆具有多个CIS晶片，每一该CIS晶片具有一感光区域与围绕该感光区域设置的至少一焊垫，每一该孔洞位于相对应的该CIS晶片上方，并且每一该探针皆不跨越该感光区域。

6.根据权利要求5所述的CIS电路测试探针卡，其特征在于其中每一该孔洞完全涵盖相对应的该CIS晶片的该感光区域。

7.根据权利要求5所述的CIS电路测试探针卡，其特征在于其中对应不同的该CIS晶片的不同的该探针位于该基板的不同部分，每一该部分与其他该部分不重叠。

8.根据权利要求5所述的CIS电路测试探针卡，其特征在于其中每一该探针为眼镜蛇式探针。

9.一种CIS电路测试探针卡，其特征在于其包含：

一基板，该基板具有至少一孔洞以及至少一探针，每一该探针设置于相对应的该孔洞附近；以及

一光学组件，该光学组件具有一复眼，其中，该复眼具有多个突出区域，该突出区域的几何配置是根据一待测晶圆的几何配置而设置。

10.根据权利要求9所述的CIS电路测试探针卡，其特征在于其中所述的基板具有多个该孔洞以及多个该探针，该些孔洞与该些探针的几何配置是根据该待测晶圆的几何配置而设置。