[发明专利]用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统。 

背景技术

目前，许多领域都应用透明或半透明的基板，例如，在太阳能模块产业中，用于光伏电池或光伏模块中的图案化或结构化基板。在制造过程中，透明或半透明的基板会产生各种各样的缺陷，例如位于基板表面的划伤、脏迹和开口气泡等以及位于基板内部的闭口气泡和结石(包括黑石、白石或其他颜色的结石)等。现有技术已经提出许多缺陷检测方案用来检测透明或半透明的基板的缺陷。 

然而，随着对透明或半透明的基板的质量的要求越来越高，需要针对不同类型的缺陷采取不同的质量控制标准。在这种情况下，不但需要检测出透明或半透明的基板所存在的缺陷，而且还需要区分所检测出的缺陷是位于基板表面的缺陷还是位于基板内部的缺陷。 

发明内容

本发明的实施例提供一种用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统，利用该方法和系统，可以区分透明或半透明的基板的缺陷是位于基板表面的缺陷还是位于基板内部的缺陷。 

按照本发明的一种用于对基板的缺陷进行区分的系统，包括：照明单元，设置在透明或半透明的基板的其中一个表面的外侧并且用于向所述基板照射光；至少一个反射镜，设置在所述基板的另一相对表面的外侧，并且用于反射所述照明单元照射并透射通过所述基板而入射到所述至少反射镜的光；成像单元，设置在所述基板的所述另一相对表面的外侧并且用于感测所述照明单元照射并透射通过所述基板 的光和所述至少反射镜反射的光的其中两个光来拍摄至少一个二维图像，其中，所述拍摄的至少一个二维图像中的每一个二维图像包括相互分开的根据所述其中两个光中的一个光拍摄的第一图像和根据所述其中两个光中的另一个光拍摄的第二图像；图像构建模块，用于分别根据所述拍摄的至少一个二维图像中的各个二维图像的所述第一图像和所述拍摄的至少一个二维图像中的各个二维图像的所述第二图像，构建所述基板的两个图像；以及，图像处理模块，用于当所述基板存在缺陷时，根据所述缺陷在所述构建的两个图像中的位置的相互关系，检测所述缺陷是位于所述基板的表面上的缺陷还是位于所述基板的内部的缺陷。 

按照本发明的一种用于对基板的缺陷进行区分的方法，包括步骤：将照明单元设置在透明或半透明的基板的其中一个表面的外侧，其中所述照明单元用于向所述基板照射光；将至少一个反射镜设置在所述基板的另一相对表面的外侧，其中，所述至少一个反射镜用于反射所述照明单元照射并透射通过所述基板而入射到所述至少一个反射镜的光；将成像单元设置在所述基板的所述另一相对表面的外侧，其中所述成像单元用于感测所述照明单元照射并透射通过所述基板的光和所述至少一个反射镜反射的光的其中两个光来拍摄至少一个二维图像，其中，所述拍摄的至少一个二维图像中的每一个二维图像包括相互分开的根据所述其中两个光中的一个光拍摄的第一图像和根据其中两个光中的另一个光拍摄的第二图像；设置图像构建模块，其中所述图像构建模块用于分别根据所述拍摄的至少一个二维图像中的各个二维图像的所述第一图像和所述拍摄的至少一个二维图像中的各个二维图像的所述第二图像，构建所述基板的两个图像；以及，设置图像处理模块，其中所述图像处理模块用于当所述基板存在缺陷时，根据所述缺陷在所述构建的两个图像中的位置的相互关系，检测所述缺陷是位于所述基板的表面上的缺陷还是位于所述基板的内部的缺陷。 

附图说明

本发明的以上和其他的特征、特点和优点通过以下结合附图的详细描述将变得更加显而易见。其中： 

图1A-1K是示出按照本发明一个实施例的用于对基板的缺陷进行区分的技术方案的概要示意图； 

图2是示出按照本发明一个实施例的用于对基板的缺陷进行区分的系统的结构示意图；以及 

图3是示出按照本发明一个实施例的照明单元和成像单元的工作时序示意图。 

具体实施方式

下面，将结合附图详细描述本发明的各个实施例。 

图1A-1K是示出按照本发明一个实施例的用于对基板的缺陷进行区分的技术方案的概要示意图。