[发明专利]电浆制程设备

说明书

技术领域

本发明是有关于一种电浆制程设备，特别是有关于与一处理平面成一倾斜角度之电浆制程设备。

背景技术

目前在各国绿色能源政策趋导下，太阳能产业正蓬勃发展，其中最受瞩目首推为太阳能薄膜电池。太阳能薄膜电池在同一受光面积之下可较太阳能硅晶圆电池大幅减少原料的用量，形成可产生电压的薄膜厚度仅需数微米；薄膜太阳能电池除了使用平面的玻璃基板之外，也可使用具有可挠性材质来当作基板，因此可制作成非平面的构造，更可与建筑物结合或是变成建筑体的一部份。也因如此，基板于制作中必须均匀受热及受电，然此基板于薄膜太阳能电池之电浆辅助化学气相沉积(PECVD)制程中，于形成一光电反应层之过程时，存在着受热不均匀之问题，却无法被改善，此一问题影响着太阳能电池中最重要的光电转换效率；再者基板于处理过程中所需之制程设备过于繁琐，不具有经济效益。因此现有习知之技术确有待改进之空间。

发明内容

有鉴于习知技术之问题，本发明之目的就是提供一种电浆制程设备，该电浆制程设备与一处理平面成一倾斜角度，使得基板得以均匀受热。

根据本发明之目的，提出一种电浆制程设备。其包含一腔体、一承载装置、至少一个制程模块、至少一个均温板、至少一个反应室、至少一个气体室及至少一个电极板。其中制程模块依序置放于承载装置中，承载装置可选择性置放于腔体中；均温板系设置于制程模块中；反应室系设置于制程模块中，反应室并与均温板接触；气体室系设置于制程模块中，气体室并与反应室接触；电极板系设置于制程模块中，电极板并与气体室接触。

上述之均温板嵌附有一加热器；另外反应室中得以选择性置放基板，此基板可为玻璃基板、塑料基板或陶瓷基板。

根据本发明之目的，更提出一种电浆制程设备，系用以处理基板。其包含一腔体、至少一支撑组件、一承载装置、至少一个制程模块、至少一个均温板、至少一个反应室、至少一个气体室及至少一个电极板。支撑组件之一端放置于处理平面上，另一端与腔体连接，支撑组件用以使腔体与处理平面成一倾斜角度。另外，制程模块依序置放于承载装置中，更可选择性增加置放于该承载装置中之制程模块；此承载装置可推入并置放于该腔体中。

各制程模块包含一均温板、一反应室、一气体室及一电极板。其中反应室与均温板接触。另外反应室得以选择性置放基板；藉由腔体与处理平面成一倾斜角度，使得基板与均温板因重力而紧密贴合，遂均匀受热。另外气体室设置于反应室旁，并与反应室接触；电极板设置于气体室旁，并与气体室接触。

承上所述，因依本发明之电浆制程设备，其可具有一或多个下述优点：

(1)此电浆制程设备用以将加热与受电功能结合于一制程设备上，深具经济效益。

(2)此电浆制程设备，使得基板与均温板因重力而紧密贴合，因此得以均匀受热。

附图说明

图1系为本发明之电浆制程设备之示意图一；

图2系为本发明之电浆制程设备之示意图二；以及

图3系为本发明之电浆制程设备之示意图三。

主要组件符号说明

100：腔体；

110：支撑组件；

200：承载装置；

300：制程模块；

310：均温板；

311：加热器；

320：反应室；

330：气体室；

340：电极板；

400：处理平面；以及

410：倾斜角度。

具体实施方式

以下将参照相关图式，说明依本发明之电浆制程设备之实施例，为使便于理解，下述实施例中之相同组件系以相同之符号标示来说明。