[发明专利]一种集成电路的筛选方法

权利要求书

1.一种集成电路的筛选方法，该集成电路由晶圆上多个晶体管并联组成，其特征在于，该方法包含下列步骤：施加偏压到这些晶体管；及撷取这些晶体管的红外光影像。

2.如权利要求1所述的集成电路的筛选方法，其特征在于，施加该偏压至这些晶体管之前，该晶圆被置放在备有一个探针夹具的自动化探测平台上，该探针夹具用以固定至少一个探针。

3.如权利要求2所述的集成电路的筛选方法，其特征在于，施加该偏压至这些晶体管通过该至少一个探针从一个电源供应器导入直流电来实现。

4.如权利要求1所述的集成电路的筛选方法，其特征在于，撷取这些晶体管的红外光影像是通过一个红外光影像摄影装置及一个微处理器来实现的。

5.如权利要求4所述的集成电路的筛选方法，其特征在于，该红外光影像摄影装置是一个备有黑白电荷耦合装置摄影机的显微镜。

6.如权利要求4所述的集成电路的筛选方法，其特征在于，该微处理器是一台计算机。

7.如权利要求1所述的集成电路的筛选方法，其特征在于，该集成电路是一个射频集成电路。

8.如权利要求1所述的集成电路的筛选方法，其特征在于，这些晶体管是异质连接型双极晶体管。