[发明专利]超精密压电定位平台

权利要求书

1.一种超精密压电定位平台，其特征在于，所述的超精密压电定位平台包括：

一第一微动模块，具有二第一微动单元，每一第一微动单元提供一第一轴向位移，每一第一微动单元具有一第一固定部、一第一活动部、二第一连杆及至少一第一压电元件，其中一第一微动单元的第一固定部及第一活动部分别与另一第一微动单元的第一固定部及第一活动部相对设置，所述第一连杆连接所述第一固定部及所述第一活动部，使所述第一固定部及所述第一活动部为平行，所述至少一第一压电元件设置于所述第一固定部与所述第一活动部之间；

一第二微动模块，具有二第二微动单元，每一第二微动单元提供一第二轴向位移，所述第二轴向垂直所述第一轴向，每一第二微动单元具有一第二固定部、一第二活动部、二第二连杆及至少一第二压电元件，所述第二固定部分别垂直地连接所述第一活动部的相对二端以形成一载体设置区域，且所述第二活动部接近所述第一固定部，每一第二微动单元的所述第二连杆连接所述第二固定部及所述第二活动部，使所述第二固定部及所述第二活动部为平行，每一第二微动单元的所述至少一第二压电元件设置于所述第二固定部与所述第二活动部之间；

一第三微动模块，具有二第三固定部、至少三万向挠性元件及设置于所述万向挠性元件中的至少三第三压电元件，所述第三固定部分别垂直地连接所述第二活动部的相对二端，所述万向挠性元件分别设置于所述第三固定部，且所述万向挠性元件面对所述载体设置区域，每一第三压电元件提供一第三轴向位移，所述第三轴向垂直所述第一轴向及所述第二轴向；及

一载体，设置于所述载体设置区域且连接所述万向挠性元件。

2.如权利要求1所述的定位平台，其特征在于，每一第一固定部包括一第一固定部本体及二第一固定部凸块，每一第一活动部包括一第一活动部本体及一第一活动部凸块，所述第一固定部凸块及所述第一活动部凸块位于所述第一固定部本体与所述第一活动部本体之间，所述第一活动部凸块设置于所述第一固定部凸块之间，所述至少一第一压电元件设置于其中一第一固定部凸块与所述第一活动部凸块之间；每一第二固定部包括一第二固定部本体及二第二固定部凸块，每一第二活动部包括一第二活动部本体及一第二活动部凸块，所述第二固定部凸块及所述第二活动部凸块位于所述第二固定部本体与所述第二活动部本体之间，所述第二活动部凸块设置于所述第二固定部凸块之间，所述至少一第二压电元件设置于其中一第二固定部凸块与所述第二活动部凸块之间。

3.如权利要求2所述的定位平台，其特征在于，每一第一固定部的二第一固定部凸块分别螺设于第一固定部本体，每一第一活动部的第一活动部本体及第一活动部凸块为一体成型。

4.如权利要求2所述的定位平台，其特征在于，每一第一固定部的二第一固定部凸块分别螺设于第一固定部本体，每一第二活动部的第二活动部凸块螺设于第二活动部本体。

5.如权利要求2所述的定位平台，其特征在于，每一第一微动单元另包括一第一弹性元件，所述第一弹性元件设置于另一第一固定部凸块与所述第一活动部凸块之间且相对于所述至少一第一压电元件；每一第二微动单元另包括一第二弹性元件，所述第二弹性元件设置于另一第二固定部凸块与所述第二活动部凸块之间且相对于所述至少一第二压电元件。

6.如权利要求5所述的定位平台，其特征在于，每一第一固定部的二第一固定部凸块分别具有一第一设置孔，每一第一活动部的第一活动部凸块具有二第一凹槽，所述第一凹槽分别相对所述第一设置孔，所述至少一第一压电元件及所述第一弹性元件分别设置于相对的第一设置孔与第一凹槽之间；每一第二固定部的二第二固定部凸块分别具有一第二设置孔，每一第二活动部的第二活动部凸块具有二第二凹槽，所述第二凹槽分别相对所述第二设置孔，所述至少一第二压电元件及所述第二弹性元件分别设置于相对的第二设置孔与第二凹槽之间。

7.如权利要求6所述的定位平台，其特征在于，每一第一微动单元另包括二第一调整组件，所述第一调整组件分别在相对第一设置孔的侧面穿固于相对的第一固定部凸块并分别接触所述至少一第一压电元件及所述第一弹性元件；每一第二微动单元另包括二第二调整组件，所述第二调整组件分别在相对第二设置孔的侧面穿固于相对的第二固定部凸块并分别接触所述至少一第二压电元件及所述第二弹性元件。