[发明专利]超精密压电定位平台

说明书

技术领域

本发明涉及一种定位平台，尤其涉及一种超精密压电定位平台。

背景技术

参考中国台湾专利公告第589240号，其揭示一种具奈/微米旋动功能的非直线旋动微调装置，该现有非直线旋动微调装置包含一具弧形或圆形旋动台、至少一组装设于旋动台内部的位移驱动元件组以及导引或支撑该旋动台产生旋动的弧形基台或枢轴，使对应基台或枢轴产生微动，藉此，以令该圆形或弧形旋动台作非直线的奈/微米级位移。

参考中国台湾专利公告第567122号，其揭示一种具奈/微米旋动功能的万向滚动微调装置，该现有万向滚动微调装置包含一形成有球面凹室的支撑座、一具有球面的球形旋动台及至少六组设置于该球形旋动台内的位移驱动元件组。其中，该球形旋动台依XY、XZ、YZ三平面方向将位移驱动元件装入其中，并将球形旋动台球面置于该支撑座的凹室中，使得球形旋动台在支撑座上产生奈/微米级的移动。

然而，上述专利的现有微调装置皆无法达成非等圆及非线性的微动。此外，在现有技术中，包含上述专利的现有微调装置，多自由度超精密定位平台不仅占空间、造价亦非常昂贵，且组装零件多、结构复杂、拆卸不便且不易维修。

因此，实有必要提供一种创新且具进步性的超精密压电定位平台，以解决上述问题。

发明内容

本发明提供一种超精密压电定位平台，其包括一第一微动模块、一第二微动模块、一第三微动模块及一载体。该第一微动模块具有二第一微动单元，每一第一微动单元提供一第一轴向位移，每一第一微动单元具有一第一固定部、一第一活动部、二第一连杆及至少一第一压电元件，其中一第一微动单元的第一固定部及第一活动部分别与另一第一微动单元的第一固定部及第一活动部相对设置，第一连杆连接该第一固定部及该第一活动部，使该第一固定部及该第一活动部为平行，该至少一第一压电元件设置于该第一固定部与该第一活动部之间。该第二微动模块具有二第二微动单元，每一第二微动单元提供一第二轴向位移，该第二轴向垂直该第一轴向，每一第二微动单元具有一第二固定部、一第二活动部、二第二连杆及至少一第二压电元件，第二固定部分别垂直地连接第一活动部的相对二端以形成一载体设置区域，且第二活动部接近第一固定部，每一第二微动单元的第二连杆连接该第二固定部及该第二活动部，使该第二固定部及该第二活动部为平行，每一第二微动单元的该至少一第二压电元件设置于该第二固定部与该第二活动部之间。该第三微动模块具有二第三固定部、至少三万向挠性元件及设置于所述万向挠性元件中的至少三第三压电元件，第三固定部分别垂直地连接第二活动部的相对二端，万向挠性元件分别设置于第三固定部，且万向挠性元件面对该载体设置区域，每一第三压电元件提供一第三轴向位移，该第三轴向垂直该第一轴向及该第二轴向。该载体设置于该载体设置区域且连接万向挠性元件。

透过该第一微动模块、该第二微动模块及该第三微动模块的配合，使该超精密压电定位平台可进行多轴向、非等圆及非线性的微动调整机能，并达到高精密度定位的功效。并且，该第一微动模块、该第二微动模块及该第三微动模块以反层叠组合方式结合，更扁平化该超精密压电定位平台，故有效简化该超精密压电定位平台的体积与高度。再者，模块化的设计，使得该超精密压电定位平台的组装零件少、拆卸方便且易于维修。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明的限定。在附图中：

图1显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的立体分解示意图；

图2显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的第一微动模块的第一微动单元侧视图；

图3显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的第二微动模块的第二微动单元侧视图；

图4显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的第三微动模块的立体分解示意图；及

图5显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的组合示意图。

附图标号：

1      本发明的超精密压电定位平台

10     第一微动模块

11     第一微动单元

20     第二微动模块

21     第二微动单元

30     第三微动模块

31     第三固定部

32     万向挠性元件

33     第三压电元件

40     载体

41     框架

42     基板

50     载体设置区域

111    第一固定部