[发明专利]液体排出头的制造方法

权利要求书

1.一种液体排出头，其包含：

设置有用于排出液体并由树脂制成的排出口的构件，

其中所述构件含有多个无机颗粒，和

其中在其上所述排出口开口的构件表面，所述排出口周缘 的颗粒密度大于所述排出口周缘周围的颗粒密度。

2.根据权利要求1所述的液体排出头，

其中，所述颗粒的平均粒径为50μm以下。

3.根据权利要求1所述的液体排出头，

其中，所述构件包含环氧树脂的硬化材料。

4.根据权利要求1所述的液体排出头，

其中，所述构件包含硅氧烷化合物和环氧树脂的硬化材料。

5.一种液体排出头的制造方法，其包括设置有用于排出液 体的排出口的构件，所述方法包括以下步骤：

在基板上设置层，所述层用于形成所述构件并且由含有可 聚合树脂、光致聚合引发剂和多个无机颗粒的组合物制成；

在所述层表面上，使所述层的一部分曝光以致要曝光的部 分围绕未曝光部分，并硬化所述层上进行曝光的部分；和

使未进行曝光的部分的边缘曝光，从而硬化所述边缘和去 除所述层上未进行曝光的部分，从而形成排出口。

6.根据权利要求5所述的方法，

其中，所述颗粒的平均粒径为50μm以下。

7.根据权利要求5所述的方法，

其中，所述树脂为环氧树脂。

8.根据权利要求5所述的方法，

其中所述组合物包含硅氧烷化合物。