[发明专利]液体排出头的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及液体排出头及其制造方法。 

背景技术

通常，应用于喷墨记录方式(scheme)的液体排出头设置有微细液体排出口、液体流路和设置于液体流路的一部分上的多种能量产生元件。由于液体流路和液体排出口具有微细结构，因此需要制造具有高精度结构的技术。作为该技术，从精度和易加工的观点，采用光刻法技术。 

近来，在喷墨记录系统中，为了改进排出的液滴精确到达记录介质，记录头与记录介质之间的距离已显著缩短。由于此原因，因为表面不平整性如记录介质上起皱或记录介质卡纸，因而记录头表面与记录介质接触。在具有通过上述光刻法技术形成的液体排出口的喷嘴中，由于液体排出口周围的喷嘴表面由树脂材料制成，在一些情况下喷嘴表面由于与记录介质接触而受到损坏。当损坏发生于液体排出口周围(喷嘴部分)时，排出液滴的排出方向偏离，从而导致打印品质的劣化。 

作为改进包括液体排出口的喷嘴表面的强度的方法，存在通常有已知的方法，在所述方法中将由无机氧化物如无定形二氧化硅或树脂制成的填料添加于树脂材料中从而调节树脂材料的物理性质。例如，USP5510818公开了使用通过添加无机填料降低线膨胀系数的环氧树脂，通过传递模塑成形方法(transfer-molding forming method)制造喷墨记录头的方法。 

如上所述，通过将无机细颗粒添加于树脂材料中，能够提高树脂材料的弹性模量并能够提高其机械强度。然而，当为了提高喷嘴表面的强度，将无机细颗粒添加到树脂材料中时，通过无机细颗粒的影响增大树脂材料的弹性模量，结果，在一些情况下还增加应力。当增加应力时，可能存在发生排出口材料变形、裂化和剥离的问题。 

另外，特别当采用透明光硬化性树脂时，添加的无机细颗粒影响硬化性能，一些情况下，可能导致图案化性能例如分辨率和对比度的劣化和对材料的粘合性的劣化。 

另外，如上所述，排出口的形状能够特别影响打印品质，因此排出口周围的机械强度高是适当的。 

发明内容

因此，本发明的目的是提供具有适于喷嘴材料的功能如图案化性能或粘合性并且提高喷嘴表面，特别是排出口周围的机械强度的液体排出头。 

根据本发明的实例的液体排出头包括设置有用于排出液体的排出口并且由树脂制成的构件。此处，所述构件包含多个无机颗粒。另外，在排出口开口的构件表面，所述排出口周缘的颗粒密度大于所述排出口周缘周围的颗粒密度。 

根据本发明，能够长期记录高品质图像，并且能够提供具有高可靠性的液体排出头。另外，能够以简单的方式制造液体排出头。 

参照附图由以下示例性实施方案的描述，本发明的进一步特征将变得显而易见。 

附图说明

图1A、1B和1C为说明制造过程中根据本发明的喷墨记录头状态的示意图。 

图2为示意性说明根据本发明的喷墨记录头实例的立体图。 

图3A、3B、3C、3D、3E、3F、3G和3H为示意性说明根据本发明的喷墨记录头的制造方法实例的横截面图。 

具体实施方式

在下文中，将参照附图描述本发明的示例性实施方案。另外，在说明书中，例举喷墨记录头作为本发明的液体排出头的应用，但是本发明的范围并不限于此。本发明也能够应用于用于制造生物芯片或者印刷电子回路的液体排出头。 

图2为示意性说明根据本发明的液体排出头实例的立体图。如图2所示，多个能量产生元件11设置于基板10上以产生用于排出液体的能量。在基板10上，设置具有对应于能量产生元件11的排出口22的排出口构件30。排出口构件30还用作用于形成连通排出口的液体流路24的液体流路构件。另外，设置液体供给口23以通过基板10。 

排出口构件30由光聚合性树脂组合物的硬化材料制成。 

接着，将描述用于形成本发明排出构件30的光聚合性树脂组合物。本发明的光聚合性树脂组合物至少包含以下成分(a)至(c)。 

(a)可聚合树脂 

(b)光聚合引发剂 

(c)无机细颗粒 

(a)可聚合树脂 

此处，作为可聚合树脂(a)，能够使用阳离子聚合性树脂、自由基聚合性树脂或阴离子聚合性树脂。例如，阳离子聚合性树脂是指将具有作为阳离子聚合性基团的乙烯基或环醚基的树脂。特别地，可适合地使用具有环氧基、氧杂环丁烷基团或乙 烯基醚基团的树脂。