[发明专利]具有电镀轮的电镀系统

权利要求书

1.一种用于电镀工件(30)的电镀系统(10)，所述电镀系统(10)包 含：

具有面(66)和从该面(66)延伸的柱状壁(70)的镀轮(14)，该柱 状壁(70)包含沿该镀轮(14)的圆周延伸的外部面(72)，该镀轮(14) 具有至少部分界定了用于盛装电镀溶液(91)的溶液腔(93)的内腔(90)， 该柱状壁(70)包含延伸穿过该柱状壁(70)与该内腔(90)流体连接的多 个开口(88)；以及

从该柱状壁(70)的该外部面(72)向外延伸的多个肋条(82)，该多 个肋条(82)沿该镀轮(14)的圆周相互隔开，该多个肋条(82)设置为与 工件(30)接合以在该工件(30)和该柱状壁(70)的该外部面(72)之间 形成气隙(G)。

2.根据权利要求1的系统(10)，其中该柱状壁(70)沿旋转轴(24) 延伸，该多个肋条(82)定位于在大致平行于该旋转轴(24)的方向延伸。

3.根据权利要求1的系统(10)，其中至少一个肋条(82)设置成覆盖 该外部面(72)的中间部分(86)。

4.根据权利要求1的系统(10)，其中该柱状壁(70)与该面(66)在 顶边缘(74)处相交，并包含与该顶边缘(74)相对的底边缘(76)，凸缘 (78)邻近于该顶边缘(74)从该柱状壁(70)的该外部面(72)向外延伸， 该多个肋条(82)在该凸缘(78)和该底边缘(76)之间延伸。

5.根据权利要求1的系统(10)，其中该多个肋条(82)包含外表面(84)， 其与该柱状壁(70)的该外部面(72)隔开。

6.根据权利要求1的系统(10)，其中该多个肋条(82)具有矩形外形。

7.根据权利要求1的系统(10)，其中凸缘(78)从该柱状壁(70)的 该外部面(72)向外延伸，该凸缘(78)设置为与该工件(30)接合以在该 工件(30)和该柱状壁(70)的该外部面(72)之间形成该气隙(G)。

8.根据权利要求1的系统(10)，进一步包含保持在该镀轮(14)的该 内腔(90)内的内部阳极(96)。

9.根据权利要求1的系统(10)，进一步包含面向该镀轮(14)的该柱 状壁(70)的外部阳极(20)。